日前，韓國半導體設備廠商ESTech宣布，與韓國唯一的碳化硅晶圓生產商Senic合作，成功開發出8英寸SiC晶錠生長爐，這意味著韓國實現碳化硅晶圓本土化又進了一步。
Senic的前身是SKC集團的碳化硅子公司，2021年被私募基金收購成立，致力于開發電動汽車用SiC晶圓。SiC晶圓的生產技術門檻高，目前主要由Gree、羅姆（Rohm）、II-VI等壟斷，韓國SiC晶圓也是以海外進口為主，Senic的成立對于韓國SiC晶圓產業的本土化有著重要意義。Senic認為，雖然起步較晚，Senic與其他先進國家業者競爭仍有機會。
而Senic計劃將通過IPO籌集的大部分資金用于加強6英寸碳化硅晶圓技術的競爭力和擴建設施，目標是在2023年底前完成包括現代汽車公司在內的主要客戶的產品認證。Senic表示，為了滿足客戶的需求并應對不斷成長的SiC晶圓市場，Senic在投入6寸晶圓量產的同時，也將推動8寸晶圓的研發。
此次合作開發成功，Senic決定采用ESTech設備量產單晶SiC晶圓，目前正在測試原型。ESTech預計今年下半年將向Senic供應用于SiC錠的化學氣相傳輸（PVT）生長爐。
編譯 YUXI
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作者：粉體圈
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