據(jù)徐州日報報道，江蘇集芯近日成功出爐首枚8英寸液相法（LPE）碳化硅單晶，經(jīng)檢測晶體面型、晶型與結(jié)晶質(zhì)量達(dá)標(biāo)，在技術(shù)路線上填補(bǔ)了國內(nèi)空白，在產(chǎn)品上完成從6英寸到8英寸的跨越。

LPE是liquid phase epitaxy的縮寫,全稱意義是液相外延。該技術(shù)因有望實現(xiàn)更高的效率、更低的成本和更好的材料利用率，被視為物理氣相傳輸（PVT）晶體生長的潛在替代方案。顯而易見的，LPE可以省去高純SiC粉末的制備，液相摻雜也更靈活。但在日韓（日本古河、韓國LG）以及國內(nèi)長期研究中，基本還停留在研發(fā)和實驗室小試階段，未有令人信服的性能或成本突破。據(jù)業(yè)內(nèi)人士總結(jié)，主要原因大概可以總結(jié)為以下幾個方面：

1、純度，LPE通過碳、硅液相反應(yīng)生長，環(huán)境雜質(zhì)控制難度大；

2、雜相，液相生長更容易生成3C-SiC，而非半導(dǎo)體晶圓的4H-SiC，存在混合相干擾；

3、缺陷，液相生長速度快，晶種與液體界面容易出現(xiàn)失配；

4、裝備，擴(kuò)大生產(chǎn)缺乏成熟的裝備平臺以及工藝方面的系統(tǒng)解決方案。

公開信息顯示，江蘇集芯成立于2023年，聚焦第三代半導(dǎo)體碳化硅材料研發(fā)，產(chǎn)品覆蓋高純SiC粉料（≥6N）、6/8英寸SiC襯底及配套材料。一期產(chǎn)能規(guī)劃為15萬片襯底/年，已實現(xiàn)PVT法6/8英寸量產(chǎn)。本次實現(xiàn)LPE技術(shù)重大突破，意味著中國在下一代SiC襯底技術(shù)上具備強(qiáng)大競爭力，引領(lǐng)SiC產(chǎn)業(yè)升級革新。

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