近日,電科材料下屬山西爍科晶體有限公司(以下簡稱爍科公司)成功研制出8英寸碳化硅晶體,實(shí)現(xiàn)了8英寸N型碳化硅拋光片小批量生產(chǎn)。
由于碳化硅對溫度及壓力控制有著極其苛刻的要求,而且其本身具有的高硬度、高脆性、低斷裂韌性等特點(diǎn),都使得大尺寸碳化硅單晶的制備及切割成為非常棘手的問題。
爍科公司專業(yè)深耕碳化硅材料領(lǐng)域,經(jīng)過刻苦攻關(guān),于去年8月研制出8英寸碳化硅晶體,成功解決大尺寸單晶制備的重要難題。近日又再次取得重大突破,實(shí)現(xiàn)8英寸N型碳化硅拋光片小批量生產(chǎn),向8英寸國產(chǎn)N型碳化硅拋光片的批量化生產(chǎn)邁出了關(guān)鍵一步,進(jìn)一步縮小國內(nèi)外技術(shù)差距,為我國碳化硅事業(yè)的自主保障能力、自主創(chuàng)新發(fā)展夯基固本。
關(guān)于山西爍科晶體
爍科晶體官網(wǎng)顯示,公司成立于2018年,是國內(nèi)從事第三代半導(dǎo)體材料碳化硅生產(chǎn)和研發(fā)的領(lǐng)軍企業(yè)。公司通過自主創(chuàng)新和自主研發(fā)全面掌握了碳化硅生長裝備制造、高純碳化硅粉料制備工藝,N型碳化硅單晶襯底和高純半絕緣碳化硅單晶襯底的制備工藝,形成了碳化硅粉料制備、單晶生長、晶片加工等整套生產(chǎn)線,并在國內(nèi)率先完成4、6、8英寸高純半絕緣碳化硅單晶襯底技術(shù)攻關(guān)。
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作者:粉體圈
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