10月16日,山西爍科晶體公司6英寸碳化硅襯底研發成功,即將量產。這意味著我國碳化硅襯底全國產化技術和設備生產即將接軌國際先進水平。
6英寸碳化硅襯底研發成功(圖片來源:山西晚報)
中國電科(山西)碳化硅產業基地一期項目于2019年4月開工建設,并于今年3月投產,期間建設僅僅11個月。據悉,一期項目能容納600臺碳化硅單晶生產爐和18萬片N型晶片的加工檢測能力,可形成7.5萬片的碳化硅晶片產能,而這也是中國電科2所從2007年開始碳化硅襯底研制布局的成果。但是,4英寸制備工藝距離國際6英寸水平仍有較大差距,科銳Cree作為全球龍頭更是已經開始布局建設8英寸量產工廠,時不我待!
與此同時,爍科晶體從碳化硅粉料制備、晶體生長、晶片加工、外延驗證等整套碳化硅材料研制線,在國內最早實現了高純碳化硅材料、高純半絕緣晶片量產,且在建項目投產后,將實現年產能15萬片,規模全球前三,解決了材料供應的卡脖子問題,值得驕傲!
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作者:粉體圈
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