11月19日,安徽微芯長江半導體材料有限公司成立暨建設工程奠基儀式在銅陵經開區舉行,SiC項目投資13.5億人民幣,包括碳化硅晶體生長車間、晶圓加工車間、研發中心、動力廠房、輔助用廠房等。
圖片來源:澎湃新聞
地方領導、日本磁性技術控股股份公司代表取締役社長、Ferrotec(中國)集團董事局主席、安徽微芯長江半導體材料公司董事長賀賢漢,中國科學院上海硅酸鹽研究所副所長王東分別致辭。上海申和熱磁電子公司總經理、安徽微芯長江半導體材料公司董事兼總經理郭建岳介紹項目有關情況。
該項目以4和6英寸工藝兼容的自動化產線為實施要點,建設工期4年,從2020年10月起至2024年10月止,計劃2021年3季度完成廠房建設和設備安裝調試,2021年12月底完成中試并開始試銷,達成后預計年產4英寸碳化硅晶圓片3萬片、6英寸12萬片。據介紹,項目同時規劃預留未來進一步擴產與SiC外延等生產空間,擇機搶占SiC功率器件領域,屆時公司將具備SiC晶圓的完整產業鏈。
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作者:粉體圈
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