哈爾濱科友半導體產出8吋碳化硅單晶

發布時間 | 2023-01-05 18:05 分類 | 行業要聞點擊量 | 721

碳化硅

導讀：日前，科友半導體傳來捷報，其通過自主設計制造的電阻長晶爐產出直徑超過8吋的碳化硅單晶，晶體表面光滑無缺陷，最大直徑超過204mm，在碳化硅晶體生長尺寸上取得重大突破。

日前，科友半導體傳來捷報，其通過自主設計制造的電阻長晶爐產出直徑超過8吋的碳化硅單晶，晶體表面光滑無缺陷，最大直徑超過204mm，在碳化硅晶體生長尺寸上取得重大突破。

科友第三代半導體產學研聚集區項目由哈爾濱科友半導體產業裝備與技術研究院有限公司與哈爾濱新區共同投資10億元建設，將打造包括技術開發、裝備設計等在內的全產業鏈的科技成果轉化及產業化應用研究集聚區，并以哈爾濱為總部，打造國家級第三代半導體裝備與材料創新中心。科友半導體從實現6吋碳化硅晶體穩定生長開始，就著手布局8吋碳化硅晶體研發，成功制備出八吋碳化硅電阻長晶爐后，著力解決了大尺寸長晶過程中的溫場分布不均勻以及氣相原料碳硅比和輸運效率等問題，同時專項攻關解決應力大導致的晶體開裂問題。

在多年無數次的探索、模擬、實驗、重復、改進后，借助科友半導體自主研發的熱場穩定性高、工藝重復性好的電阻長晶爐，研發團隊終于掌握了8吋碳化硅晶體生長室內溫場分布和高溫氣相輸運效率等關鍵技術，獲得了品質優良的8吋碳化硅單晶，為實現下一步的8吋碳化硅晶體產業化量產打下堅實的基礎。

粉體圈整理

本文為粉體圈原創作品，未經許可，不得轉載，也不得歪曲、篡改或復制本文內容，否則本公司將依法追究法律責任。