氮化鋁(AlN)是第三代半導體材料的典型代表之一,又是這些材料中的直接帶隙中禁帶寬度(6.2eV)最寬的一個,同時具備了極為優良的光、電、聲、機械性質,目前已經表現出極其廣闊的應用前景和難以估量的巨大經濟效益,其中最被看好的應用包括更高電壓的功率元件以及(深)紫外LED與鐳射二極管等。
不過與商業化更為成熟的SiC相比,AlN在單晶生長及其襯底制備上的技術難度高出得不是一點半點,不僅更復雜,而且成本也更高——可以說,缺乏足夠大和高質量的單晶就是限制AlN發展的主要原因之一。截至目前為止,世界各國已經為生長大尺寸氮化鋁單晶作了近50年的努力,其中物理氣相沉積法被公認為生長塊狀氮化鋁單晶的唯一方法。
現在全球范圍內有能力生長出2英寸AlN單晶的企業/研發機構非常有限,奧趨光電技術(杭州)有限公司(以下簡稱“奧趨光電”)正是其中的佼佼者。就在去年于日本橫濱舉行的LED 工業應用國際會議( LEDIA-2019) 上,奧趨光電推出了直徑60 mm 氮化鋁單晶及晶圓,該晶圓為迄今為止國內外見諸報道的最大尺寸氮化鋁晶圓。
直徑60 mm氮化鋁單晶襯底
盡管現階段市場仍尚未大量導入AlN相關元器件產品,但隨著近年來光電子器件領域的快速發展,高功率紫外LED芯片對AlN單晶襯底的巨大需求還是有望被引爆的,因此加緊對AlN晶體的生長工藝的研究具有現實意義。在1月6-8日于廣東珠海舉辦的“2021全國高純粉體與晶體材料創新發展論壇”上,來自上海大學材料科學與工程學院 、奧趨光電技術(杭州)有限公司的吳亮教授將分享題為《高質量、大尺寸AlN單晶生長及其應用前景展望》的報告,感興趣的話就別錯過了哦!
個人簡介
吳亮教授,“東方學者”特聘教授、博士生導師,分別畢業于比利時天主教魯汶大學、清華大學及大連理工大學,獲工學博士、工學碩士及本科學位,奧趨光電技術(杭州)有限公司創始人、CEO。。長期從事半導體、光伏/LED晶體材料模擬仿真技術、晶體生長設備及其生長工藝與缺陷的研究開發。是全球知名晶體生長模擬仿真軟件FEMAG的核心開發人員之一、知名網格生成軟件poly2tri作者;Elsevier Journal of Crystal Growth 客座編輯(guest editor);PV Japan-2011 大會全員特邀演講嘉賓(Plenary keynote speaker);SEMI全球協會Semi China光伏材料學術委員會成員,光伏材料分會主席;主要研究方向:晶體生長設備、熱場設計與工藝;磁場對晶體生長過程的影響及其耦合技術;晶體生長過程的微觀缺陷形成機理及其傳輸機制。有限元非結構化網格自動生成;晶體生長工藝過程的全局計算機模擬、仿真與工藝優化等
粉體圈會務組
作者:粉體圈
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