7月8日美通社報道,美國HexaTech公司宣布推出優化版本氮極性氮化鋁(N-polar AlN)襯底——相比傳統的鋁極性(Al-polar)外延生長,氮極性面有望帶來顯著的性能提升。此項全新氮極性工藝可應用于HexaTech所有標準2英寸直徑襯底產品。
作為超寬禁帶半導體材料,單晶氮化鋁襯底在光電領域優勢顯著,基于其進行高功率半導體器件開發,在深紫外LED消毒、高效電力轉換開關,以及衛星通信射頻組件等領域應用極具優勢。Hexatech公司透露,這項N極過程技術已經開發了一年多,可以直接按直徑和體積擴展,并且很好地與HexaTech之前宣布的100毫米擴展計劃相契合,該計劃部分得到了美國國防部DARPA UWBGS計劃的支持。
鋁極性更穩定,但電子移動受限,因此更適用于常規器件。N極性晶體生長難度更高,須解決表面氧化和缺陷等問題,但導熱更好,絕緣性更好,高頻性能更好。作為全球領先的單晶物理氣相傳輸(PVT)生長的氮化鋁(AlN)襯底商業供應商,HexaTech再次推動前沿產品能力,以滿足客戶的需要。
編譯整理 YUXI
作者:粉體圈
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