據商業(yè)資訊（businesswire）1月13日報道，韓國真空爐企業(yè)ThermVac于去年10月交付給中國徐州某企業(yè)的碳化鉭化學氣相沉積（TaC CVD）設備已經完成調試工作，并開始生產鍍膜產品。

ThermVac交付的TaC CVD設備可在最高溫度2400度下，使TaCl5粉末蒸氣與CH4氣體發(fā)生反應，并將合成的TaC成分以薄膜形式沉積到石墨產品表面。該設備由真空爐主機、供電裝置、真空排氣裝置、工藝氣體控制裝置、尾氣處理濕式洗滌集塵裝置（Scrubber）和動力供給裝置組成。通過該設備生產的TaC鍍膜石墨產品為超過2000度的高溫工藝中所使用的產品，例如SiC單晶生長所需的坩堝等。在超過2000度的超高溫下，鍍膜也不會受損，防止石墨產生的碳塵污染。

垂直型高溫化學氣相沉積系統(tǒng)（圖片來源：ThermVac）

2011年，ThermVac在韓國政府的技術開發(fā)支持項目中執(zhí)行了SiC CVD中試設備國產化開發(fā)課題，在陶瓷CVD設備行業(yè)邁出了第一步。在兩年的課題開發(fā)期內，獲得了CVD設備的基本技術，成功完成課題開發(fā)。隨著金屬有機化學氣相沉積法（MOCVD）的石墨承載盤（Susceptor）等SiC鍍膜產品的需求不斷增加，THERMVAC與海外CVD設備企業(yè)展開激烈競爭，向韓國國內市場提供各種CVD設備——向韓國陶瓷工程技術研究所（KICET）提供用于研發(fā)的SiC、HfC、TaC CVD裝置，并向全南高科園公用設備室、KNJ、S公司、大洋產業(yè)、DACC Carbon、日本碳素公司的韓國法人T公司等企業(yè)提供用于生產的SiC、TaC CVD和熱解碳CVI。

ThermVac繼2017年向江蘇某公司出口了產品裝載空間為1200Φ*1800H ㎜的大型SiC CVD設備以來，再次向徐州某出口TaC CVD設備，積極瞄準中國市場。ThermVac計劃以公司所擁有的2400度超高溫Pilot CVD設備為依托，積累陶瓷CVD工藝技術，并與歐美和日本的領先CVD企業(yè)展開競爭，向包括材料零部件的巨大市場中國和日本在內的全球市場擴大出口CVD設備。

編譯 YUXI