半導體器件對硅晶片有非常嚴格的要求，只有近乎完美的晶片才能避免對器件非常有害的電學和機械缺陷。為了盡量向“完美無瑕”的程度靠攏，硅片需要經歷整型、切片、研磨、清洗等多個步驟。在這些工序里，硅片們都需要一個可以安置并能“固定”好它們的工作臺，因此“陶瓷真空吸盤”就派上了用場。

陶瓷真空吸盤是一種利用納米粉體生產出來的均勻的實心或者真空體，通過高溫燒結在材料內部生成大量彼此連體或閉合的陶瓷材料，常見的材質有Al₂O₃或碳化硅，常應用于半導體電子器件領域。在應用場合中，它能通過真空吸力將半導體片、玻璃基板材料等工作物固定住。相對于傳統吸盤對于工件單一化規格吸附的特性來說，陶瓷真空吸盤的區域性吸附功能，更有助于提升產線流暢度及其效能，還可以避免傳統吸盤對工件（尤其是薄膜材料）的刮傷和吸痕。

傳統吸盤和陶瓷吸盤的對比

除了用于吸附工件外，陶瓷真空吸盤還可以在傳輸型氣浮模組中使用，就算是大片的玻璃基板等工件，也能讓它們在輸送與移載過程中不直接與平臺接觸到，避免污染物附著、應力、靜電及損傷玻璃基板的情形發生。而且多孔性材質可大幅降低氣體流量，還能達到氣墊層氣壓均勻，能保持一定漂浮高度的效果。

傳輸型氣浮模組

品質要求

既然是為了加工而服務，陶瓷真空吸盤就需要滿足高品質工件的幾大訴求。來自專業生產陶瓷真空吸盤的深圳方泰新材料技術有限公司的張術生經理認為，優秀的陶瓷真空吸盤需要具備以下幾點：

① 潔凈度：避免硅片在加工的過程中被Na⁺、Al⁺等雜質污染；

② 通透性強：均勻透氣和透水，保證了硅片的均勻受力和牢固吸附，在磨削過程中不滑動；

③ 結構致密均勻：不易吸附硅粉磨屑，吸盤易于清洗；

④ 強度高：在磨削時無形變，保證硅片在磨削時各點受力均勻，不易產生崩邊、碎片等現象；

⑤ 易于修整：修整時不會出現破裂、碎塊、脫粒等現象；

⑥ 絕緣性高：絕緣性材質，消除靜電。

最后，誰都不希望自己的“工作臺”經常需要更換，因此耐用性也是很重要的考慮因素。

要達到這些要求，精湛的制備技術是必要的條件。據張經理介紹，為了達到最理想的效果，在原料上方泰選擇了質量更穩定的日本進口陶瓷粉體，采用干壓成型法成型并在1200~1400℃下進行燒結。不僅通孔率在40%以上，而且孔徑足夠均勻，很好地保證了吸附力的均勻性。

市場狀況

問及陶瓷真空吸盤的市場，張經理坦言道，其實并不算大。雖然陶瓷吸盤可以擔任同一領域里的不同職能，但像半導體等下游領域，由于行業集中度頗高，已經難以發展新客戶；雖然柔性顯示、OLED屏等如今正火，但由于陶瓷真空吸盤質量太好，折舊率太低，市場也是比較有限。

陶瓷吸盤的百變化身

不過張經理提出，其實陶瓷真空吸盤能發揮的作用比我們想象的要豐富許多，在服裝鞋帽制造業里其實也可以被使用到。車間里工人們可以將布料置于其上，由于吸力的作用，布料可以被拉得十分平整，更利于后續的裁剪工作。

不過憑借這門制造陶瓷的“好手藝”，方泰也不只靠陶瓷真空吸盤過日子，陶瓷柱塞就是他們的另外一款拳頭產品。而且張經理稱，日后方泰也還會利用自身的技術優勢，繼續開發出更多的新產品，雖然目前還只能給我們留個懸念，但還是期待著驚喜到來的那一天！

粉體圈 小梁