其中硅粉氮化法是制備氮化硅陶瓷粉體的最早的方法(工藝流程見下圖),該方法是利用硅粉與氮?dú)庠诟邷叵逻M(jìn)行反應(yīng)生產(chǎn)氮化硅粉體,這種方法最大的優(yōu)點(diǎn)是生產(chǎn)效率高,成本相對較低。
硅粉氮化法的工藝流程圖及方程式
氨解法是SiCl4和NH3的合成反應(yīng),根據(jù)反應(yīng)物SiCl4與NH3的狀態(tài)不同,反應(yīng)又分成常溫合成(又稱氣相合成,反應(yīng)物是氣相)和低溫合成反應(yīng)(液相合成,反應(yīng)物是屬液相)兩種。反應(yīng)機(jī)理:SiCl4與NH3的反應(yīng)物(Si(NH)2)熱解生成Si3N4與氨氣;氨解法的關(guān)鍵是獲得高純度的亞氨基硅(Si(NH)2),是高質(zhì)量氮化硅粉體的先進(jìn)制造技術(shù)。
上文為氮化硅粉體部分制備方法的簡要說明,如需了解更多關(guān)于“氮化硅粉體的相關(guān)研究工作”請查看如下視頻中葛昌純院士分享的報告內(nèi)容。
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作者:粉體圈
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