其中硅粉氮化法是制備氮化硅陶瓷粉體的最早的方法(工藝流程見下圖),該方法是利用硅粉與氮氣在高溫下進行反應生產氮化硅粉體,這種方法最大的優點是生產效率高,成本相對較低。
硅粉氮化法的工藝流程圖及方程式

氨解法是SiCl4和NH3的合成反應,根據反應物SiCl4與NH3的狀態不同,反應又分成常溫合成(又稱氣相合成,反應物是氣相)和低溫合成反應(液相合成,反應物是屬液相)兩種。反應機理:SiCl4與NH3的反應物(Si(NH)2)熱解生成Si3N4與氨氣;氨解法的關鍵是獲得高純度的亞氨基硅(Si(NH)2),是高質量氮化硅粉體的先進制造技術。
上文為氮化硅粉體部分制備方法的簡要說明,如需了解更多關于“氮化硅粉體的相關研究工作”請查看如下視頻中葛昌純院士分享的報告內容。
視頻:
https://v.qq.com/x/page/g3061nkccqt.html?pcsharecode=iKDuqI00&sf=uri
粉體圈小白整理發布
作者:粉體圈
總閱讀量:3155