日前，因為自主研發的原位芯片出現在了美國加州大學伯克利分校的實驗室里，廈門芯極科技有限公司成為國內首個實現原位芯片出口的企業而在業界引發關注。而原位芯片表層覆蓋的納米級氮化硅薄膜是其中關鍵，很多人對它還很陌生，小編借機勉力解讀一二。
芯極自主研發的高分辨自封閉原位芯片效果圖
原位芯片也叫原位合成芯片，它是以美國 Affymetrix公司為代表制備的一類DNA芯片，采用顯微光蝕刻等技術，在芯片的特定部位原位合成寡核苷酸而制成。原位芯片可撬動多領域的應用，且與我們生活息息相關。
比如，在原位芯片的“助攻”下，電子顯微鏡觀測能力將大幅度提高，能全程高清拍攝每個原子的變化和運動軌跡，借由這項技術，可以研究汽車尾氣、廢水等。再比如，原位芯片高通量、少樣本量的特性，可滿足超快速體外診斷(如用尿液檢測微量蛋白、尿糖、尿酸等)的需求，比傳統的光學檢測精度更高，速度也更快。
據悉，原位芯片的主要材質是硅，表層覆蓋納米級氮化硅薄膜。電子級的氮化硅薄膜實際上是一種硅氮化合物，常用作微電子技術電絕緣層，通過化學氣相沉積或者等離子體增強化學氣相沉積技術制造的。而選擇氮化硅薄膜的理由是因為它作為集成電路芯片最外層鈍化膜和保護膜有優勢。氮化硅硬度大，耐磨耐劃，致密性好，針孔少，掩蔽能力強，抗氧化能力強。因此，包括鈉、水蒸氣等幾乎不會對其造成麻煩。
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作者：粉體圈
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