9月10日,杭州富加鎵業科技有限公司(富加鎵業)投資的國內首條6英寸氧化鎵單晶及外延片生長線,在杭州富陽開工建設,助力我國新型超寬禁帶半導體氧化鎵產業鏈高質量快速發展。
此前,國際上僅日本NCT(Novel Crystal Technology, Inc)擁有6英寸氧化鎵單晶及外延片生長線,具備量產能力。本次富加鎵業生產線項目高度集成單晶生長、襯底加工、外延及檢測,項目建成后,具備年產1萬片6英寸氧化鎵單晶及外延片能力。
作為國內目前唯一一家同時具備6英寸單晶生長及外延的公司,富加鎵業整條產線涉及 “一鍵長晶”單晶生長設備、多線切割設備、高精度研磨拋光設備、倒角設備、激光加工設備、全自動化晶片清洗設備、高通量外延設備、表面缺陷檢測儀、電學性能測試儀等關鍵設備。面向未來,6英寸的氧化鎵單晶及外延片將為下游器件廠商提供穩定可控的高質量氧化鎵材料。
關于氧化鎵半導體
氧化鎵是一種能以低成本獲得大尺寸、高質量、可摻雜塊狀單晶的超寬禁帶半導體材料(4.8eV),它擁有優異的物理化學特性,在微電子與光電子領域均擁有廣闊的應用前景。但因具有高熔點、高溫分解以及易開裂等特性,因此,大尺寸氧化鎵單晶制備極為困難。2022年8月12日,美國商務部將氧化鎵和金剛石等寬禁帶半導體材料列入商業管制清單,限制出口。這一措施對我國半導體行業發展產生了制約。無疑,富加鎵業本次量產項目有力支撐了我國超寬禁帶半導體材料的發展。
粉體圈 整理
作者:粉體圈
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