信息時代，平板顯示器已成為我們接受信息的一個重要視覺窗口。而像液晶電視、平板電腦、智能手機等電子商品，它們的制作都離不開一種關鍵組件，那就是ITO（Indium Tin Oxide，氧化銦錫）導電玻璃。

液晶顯示器之所以能顯示特定的圖形，就是利用導電玻璃上的ITO透明導電膜，經蝕刻制成特定形狀的電極，上下導電玻璃制成液晶盒后，在這些電極上加適當電壓信號，使具有偶極矩的液晶分子在電場作用下特定的方面排列，僅而顯示出與電極波長相對應的圖形。

無源驅動液晶顯示器件的基本結構

要給玻璃鍍上ITO可不容易，它不能像油漆那樣被刷到平板玻璃上，而是需要先被制作成標準尺寸的固體靶材，再由操縱磁控濺射的“槍手”不斷“射擊”，將其氣化濺鍍到玻璃基板或柔性有機薄膜上形成一層膜。這層膜的厚度因功能需求而有不同，一般在30納米至200納米之間。

可以說，ITO透明導電膜的好壞決定了導電玻璃產品質量、生產效率及成品率，而ITO透明導電膜的性能又與ITO靶材息息相關。具體下游對ITO靶材都有哪些要求，小編電詢了來自專業生產ITO靶材、ITO粉及其他與靶材相關光電材料的洛陽晶聯光電材料有限公司的總經理郭朋先生，接下來便來一起看看其中奧秘。

關鍵一：密度和純度

ITO靶材屬于稀有金屬銦的錫摻雜氧化物半導體陶瓷，下游用戶首先關注的就是它的密度和純度。在制備的過程中，In₂O₃和SnO₂的質量比一般為90:10，SnO₂會完全固溶到In₂O₃中形成單一的In₂O₃相，靶中的空隙和雜質、雜質相均會對ITO導電薄膜的導電性和透光率的均勻性產生影響?

因此，在ITO靶材的生產過程中，首先要嚴格控制化學氧含量及雜質含量，以確保靶材純度達到99.99%以上，其次需要通過合適的成型燒結工藝，使靶材密度盡可能的大——靶材若為低密度，有效濺射表面積會減少，濺射速度也會降低，靶材表面黑化趨勢加劇。高密度靶的表面變化少，可以得到低電阻膜。靶材密度與壽命也有關，高密度的靶材壽命較長，意味著可降低靶材成本，因而高品質ITO靶材應具有99.5%以上的相對密度?

關鍵二：大尺寸

受平板顯示器尺寸大型化的影響，ITO玻璃基板也出現了明顯的大型化的趨勢，因此ITO靶材單片尺寸大型化不可避免。但受限于技術能力，大面積的靶材往往都需要像拼美國瓷磚一樣，將多個單片靶材拼焊成特定的尺寸——因此單片靶材的尺寸越大，需要拼接的塊數就越少，濺射到平板上的拼縫就越少，價值也越高。據郭朋先生介紹，洛陽晶聯已具備生產大型尺寸（400mm×650mm，或270×1400mm）ITO平面靶材的能力。

另外，近年來材料使用率更高的管狀靶材也越來越受市場青睞，管靶越長，意味著生產中拼縫越少，生產出的觸控液晶屏質量越高。目前洛陽晶聯已開發出大尺寸ITO旋轉靶材的近凈成型技術，利用率可從平面靶材的30%左右提升到80%左右。

該如何提升靶材質量？

ITO靶材的市場，尤其是高端TFT-LCD（薄膜晶體管液晶顯示器）應用領域，長期以來被日韓所壟斷。國內如果想擺脫這種被掐脖子的困境，就必須勇于創新，研發出屬于自己的生產高端ITO靶材核心技術。

綜合來看，ITO粉末的制備是整個ITO靶材生產環節中最為重要的一環，其基本要求是顆粒尺寸小于100nm，團聚少，分散性好，燒結活性高，雜質含量不能超標?此外，由于ITO靶材是由高溫燒結而成，燒結技術工藝決定了產品質量，稍有出錯，就容易出現批次質量不穩定的問題。洛陽晶聯通過穩定的常壓燒結工藝，不僅可獲得使用壽命更長、靶材表面在鍍膜時結瘤更少的ITO靶材，而且還能解決靶材生產使用壓力氣氛保護的安全性問題，靶材易開裂問題，成品率大幅提升。

目前，洛陽晶聯的產品已通過G8.5、G6、G5、G4.5、G2.5等TFT-LCD產線和LTPs產線上的測試和供貨，已穩定為京東方、天馬、信利、華星光電、南玻等大尺寸液晶面板生產商量供，真正打破了進口靶材在該領域長多年的壟斷。

而且由于近期疫情影響，日韓的多家企業無法正常供貨，也讓國內更多的下游客戶開始將目光轉向了洛陽晶聯這樣的優秀國內供應商。“目前我們在TFT-LCD領域已經有了很扎實的客戶基礎。”郭朋先生說，“接下來我們還將往AMOLED領域發力，進一步擴展業務，目前我們的技術已經完全能夠滿足這部分的需求。”

粉體圈 小榆