信息時(shí)代，平板顯示器已成為我們接受信息的一個(gè)重要視覺窗口。而像液晶電視、平板電腦、智能手機(jī)等電子商品，它們的制作都離不開一種關(guān)鍵組件，那就是ITO（Indium Tin Oxide，氧化銦錫）導(dǎo)電玻璃。

液晶顯示器之所以能顯示特定的圖形，就是利用導(dǎo)電玻璃上的ITO透明導(dǎo)電膜，經(jīng)蝕刻制成特定形狀的電極，上下導(dǎo)電玻璃制成液晶盒后，在這些電極上加適當(dāng)電壓信號，使具有偶極矩的液晶分子在電場作用下特定的方面排列，僅而顯示出與電極波長相對應(yīng)的圖形。

無源驅(qū)動(dòng)液晶顯示器件的基本結(jié)構(gòu)

要給玻璃鍍上ITO可不容易，它不能像油漆那樣被刷到平板玻璃上，而是需要先被制作成標(biāo)準(zhǔn)尺寸的固體靶材，再由操縱磁控濺射的“槍手”不斷“射擊”，將其氣化濺鍍到玻璃基板或柔性有機(jī)薄膜上形成一層膜。這層膜的厚度因功能需求而有不同，一般在30納米至200納米之間。

可以說，ITO透明導(dǎo)電膜的好壞決定了導(dǎo)電玻璃產(chǎn)品質(zhì)量、生產(chǎn)效率及成品率，而ITO透明導(dǎo)電膜的性能又與ITO靶材息息相關(guān)。具體下游對ITO靶材都有哪些要求，小編電詢了來自專業(yè)生產(chǎn)ITO靶材、ITO粉及其他與靶材相關(guān)光電材料的洛陽晶聯(lián)光電材料有限公司的總經(jīng)理郭朋先生，接下來便來一起看看其中奧秘。

關(guān)鍵一：密度和純度

ITO靶材屬于稀有金屬銦的錫摻雜氧化物半導(dǎo)體陶瓷，下游用戶首先關(guān)注的就是它的密度和純度。在制備的過程中，In₂O₃和SnO₂的質(zhì)量比一般為90:10，SnO₂會(huì)完全固溶到In₂O₃中形成單一的In₂O₃相，靶中的空隙和雜質(zhì)、雜質(zhì)相均會(huì)對ITO導(dǎo)電薄膜的導(dǎo)電性和透光率的均勻性產(chǎn)生影響?

因此，在ITO靶材的生產(chǎn)過程中，首先要嚴(yán)格控制化學(xué)氧含量及雜質(zhì)含量，以確保靶材純度達(dá)到99.99%以上，其次需要通過合適的成型燒結(jié)工藝，使靶材密度盡可能的大——靶材若為低密度，有效濺射表面積會(huì)減少，濺射速度也會(huì)降低，靶材表面黑化趨勢加劇。高密度靶的表面變化少，可以得到低電阻膜。靶材密度與壽命也有關(guān)，高密度的靶材壽命較長，意味著可降低靶材成本，因而高品質(zhì)ITO靶材應(yīng)具有99.5%以上的相對密度?

關(guān)鍵二：大尺寸

受平板顯示器尺寸大型化的影響，ITO玻璃基板也出現(xiàn)了明顯的大型化的趨勢，因此ITO靶材單片尺寸大型化不可避免。但受限于技術(shù)能力，大面積的靶材往往都需要像拼美國瓷磚一樣，將多個(gè)單片靶材拼焊成特定的尺寸——因此單片靶材的尺寸越大，需要拼接的塊數(shù)就越少，濺射到平板上的拼縫就越少，價(jià)值也越高。據(jù)郭朋先生介紹，洛陽晶聯(lián)已具備生產(chǎn)大型尺寸（400mm×650mm，或270×1400mm）ITO平面靶材的能力。

另外，近年來材料使用率更高的管狀靶材也越來越受市場青睞，管靶越長，意味著生產(chǎn)中拼縫越少，生產(chǎn)出的觸控液晶屏質(zhì)量越高。目前洛陽晶聯(lián)已開發(fā)出大尺寸ITO旋轉(zhuǎn)靶材的近凈成型技術(shù)，利用率可從平面靶材的30%左右提升到80%左右。

該如何提升靶材質(zhì)量？

ITO靶材的市場，尤其是高端TFT-LCD（薄膜晶體管液晶顯示器）應(yīng)用領(lǐng)域，長期以來被日韓所壟斷。國內(nèi)如果想擺脫這種被掐脖子的困境，就必須勇于創(chuàng)新，研發(fā)出屬于自己的生產(chǎn)高端ITO靶材核心技術(shù)。

綜合來看，ITO粉末的制備是整個(gè)ITO靶材生產(chǎn)環(huán)節(jié)中最為重要的一環(huán)，其基本要求是顆粒尺寸小于100nm，團(tuán)聚少，分散性好，燒結(jié)活性高，雜質(zhì)含量不能超標(biāo)?此外，由于ITO靶材是由高溫?zé)Y(jié)而成，燒結(jié)技術(shù)工藝決定了產(chǎn)品質(zhì)量，稍有出錯(cuò)，就容易出現(xiàn)批次質(zhì)量不穩(wěn)定的問題。洛陽晶聯(lián)通過穩(wěn)定的常壓燒結(jié)工藝，不僅可獲得使用壽命更長、靶材表面在鍍膜時(shí)結(jié)瘤更少的ITO靶材，而且還能解決靶材生產(chǎn)使用壓力氣氛保護(hù)的安全性問題，靶材易開裂問題，成品率大幅提升。

目前，洛陽晶聯(lián)的產(chǎn)品已通過G8.5、G6、G5、G4.5、G2.5等TFT-LCD產(chǎn)線和LTPs產(chǎn)線上的測試和供貨，已穩(wěn)定為京東方、天馬、信利、華星光電、南玻等大尺寸液晶面板生產(chǎn)商量供，真正打破了進(jìn)口靶材在該領(lǐng)域長多年的壟斷。

而且由于近期疫情影響，日韓的多家企業(yè)無法正常供貨，也讓國內(nèi)更多的下游客戶開始將目光轉(zhuǎn)向了洛陽晶聯(lián)這樣的優(yōu)秀國內(nèi)供應(yīng)商。“目前我們在TFT-LCD領(lǐng)域已經(jīng)有了很扎實(shí)的客戶基礎(chǔ)。”郭朋先生說，“接下來我們還將往AMOLED領(lǐng)域發(fā)力，進(jìn)一步擴(kuò)展業(yè)務(wù)，目前我們的技術(shù)已經(jīng)完全能夠滿足這部分的需求。”

粉體圈 小榆