1月8日，重慶兩江新區2023年首批17個重大產業項目正式動工建設，其中包括北京奕斯偉科技集團有限公司（奕斯偉，ESWIN）在兩江新區投資打造奕斯偉硅及碳化硅部件項目，將建設一座產能為每月3萬個硅及碳化硅部件的生產工廠。
奕斯偉是一家集成電路領域產品和服務提供商，其硅材料業務主要包括半導體級12英寸硅單晶拋光片和外延片。據了解，該項目致力于生產晶圓制造必不可少的硅環和碳化硅環耗材，碳化硅環產品填補了國內該領域空白，對兩江新區打造西南地區半導體產業高地具有重大意義。
聚焦環的作用是晶圓制造蝕刻過程中將晶圓固定在適當的位置以保持等離子體密度并防止晶圓的側面受到污染。過去石英和硅被用于制造聚焦環，但隨著在先進晶圓制造中干法蝕刻的使用超過濕法蝕刻的增加，要求良好的抗等離子轟擊，優異的耐氣體腐蝕，以及出色的抗熱震和熱應變能力，對由碳化硅(SiC)制成的聚焦環需求增加。
奕斯偉集團總經理王輝表示，兩江新區產業基礎完善、物流交通便利，將加快推動項目建設，助力兩江新區集成電路產業發展。
參考來源：中國經濟網
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作者：粉體圈
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