近幾年，用于電子封裝的氮化鋁陶瓷基板很火，國(guó)內(nèi)不乏在該領(lǐng)域達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平、產(chǎn)品遠(yuǎn)銷海外的優(yōu)秀企業(yè)，但氮化鋁陶瓷的應(yīng)用不止于此，還有許多“卡脖子”的關(guān)鍵領(lǐng)域等待著我們一一探索與突破。例如如今半導(dǎo)體行業(yè)迅速發(fā)展，產(chǎn)業(yè)規(guī)模急速增大，半導(dǎo)體制造設(shè)備持續(xù)向精密化、復(fù)雜化演變，作為半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的關(guān)鍵部件，精密陶瓷部件的研發(fā)生產(chǎn)直接影響著半導(dǎo)體裝備制造業(yè)乃至整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展。

高純氮化鋁陶瓷具有卓越的熱傳導(dǎo)性，耐熱性、絕緣性，熱膨脹系數(shù)接近硅，且具有優(yōu)異的等離子體抗性，產(chǎn)品熱量分布均勻，可應(yīng)用于晶片加熱的加熱器、靜電吸盤等。此外，在航空航天、軌道交通、新能源汽車、高功率LED、5G通訊、電力傳輸、工業(yè)控制等領(lǐng)域中，氮化鋁精密陶瓷通常作為關(guān)鍵裝備零部件具有不可取代的作用。

氮化鋁精密陶瓷

提到國(guó)內(nèi)的氮化鋁陶瓷企業(yè)，就不得不將目光放在堪稱氮化鋁陶瓷基板龍頭的標(biāo)桿企業(yè)——福建華清電子材料科技有限公司了。華清電子材料成立于2004年，引進(jìn)清華大學(xué)新型陶瓷與精細(xì)工藝國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室科研成果，通過(guò)多年產(chǎn)業(yè)化研發(fā)、量產(chǎn)改進(jìn)、市場(chǎng)驗(yàn)證，成為國(guó)內(nèi)首家采用流延法規(guī)模化生產(chǎn)高端氮化鋁陶瓷基板的企業(yè)，在生產(chǎn)技術(shù)和工藝上具有獨(dú)創(chuàng)性和領(lǐng)先性，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)空白，已擁有專利80項(xiàng)，目前氮化鋁陶瓷基板在國(guó)內(nèi)產(chǎn)量和銷量均排名第一。

粉體圈小編也曾前往華清拜訪，從最早投入氮化鋁陶瓷基板流延規(guī)模化生產(chǎn)，到如今占據(jù)該細(xì)分領(lǐng)域領(lǐng)先地位，華清付出了近二十年的沉淀心血，詳見(jiàn)以下文章：

福建華清：中國(guó)氮化鋁陶瓷基板的拓荒者

今天小編要講的不是陶瓷基板，而是華清投入大量研發(fā)精力已取得成果的新產(chǎn)品業(yè)務(wù)：氮化鋁精密陶瓷。

據(jù)了解，華清近兩年加大力度推進(jìn)人才引進(jìn)工作，先后引進(jìn)十余名博士、碩士，40多名本科人才，極大地充實(shí)了公司的技術(shù)研發(fā)力量，核心人員在精密陶瓷行業(yè)近20年經(jīng)驗(yàn)。在研發(fā)和生產(chǎn)設(shè)備的投入上也是逐步發(fā)力，現(xiàn)配置了國(guó)際先進(jìn)的陶瓷生產(chǎn)、機(jī)械加工和檢測(cè)設(shè)備，擁有流延成型，注射成型，干壓成型，冷等靜壓成型、溫等靜壓成型等多種成型設(shè)備和和成熟的工藝，實(shí)現(xiàn)了從陶瓷配方、成型、燒結(jié)和精加工的垂直整合，可以為客戶提供最佳工藝方案。同時(shí)，華清還擁有獨(dú)立的實(shí)驗(yàn)室和分析檢測(cè)中心，可為客戶提供定制化開(kāi)發(fā)和快速分析檢測(cè)服務(wù)。

華清部分檢測(cè)加工設(shè)備

精密陶瓷項(xiàng)目則是華清今年推進(jìn)的重點(diǎn)項(xiàng)目。精密陶瓷是具有高性能和高精度的陶瓷，其應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，涉及半導(dǎo)體制造裝置、醫(yī)學(xué)、光學(xué)、汽車、精密儀器等領(lǐng)域，該項(xiàng)目可以幫助企業(yè)進(jìn)一步拓寬業(yè)務(wù)領(lǐng)域，擴(kuò)大領(lǐng)先優(yōu)勢(shì)。

經(jīng)歷了在氮化鋁陶瓷行業(yè)多年的技術(shù)沉淀，華清在氮化鋁精密陶瓷領(lǐng)域開(kāi)拓出新的賽道，精密陶瓷的一大技術(shù)門檻是產(chǎn)品尺寸精度，目前國(guó)內(nèi)大部分氮化鋁陶瓷產(chǎn)品尺寸精度仍停留在尺寸公差0.05mm，平面度0.02mm，表面粗糙度0.6um水平，華清則已經(jīng)開(kāi)始為國(guó)外客戶提供更加精密微米級(jí)要求的氮化鋁陶瓷，比如外徑尺寸公差2um，內(nèi)徑尺寸公差5um，圓柱度3um，平面度3um，粗糙度20nm等產(chǎn)品。

華清的氮化鋁精密陶瓷產(chǎn)品

值得一提的是，用于半導(dǎo)體制造裝備的氮化鋁陶瓷加熱底盤，是高端氮化鋁精密陶瓷的一大“卡脖子”產(chǎn)品，世界范圍內(nèi)只有京瓷等少數(shù)幾家國(guó)外企業(yè)能生產(chǎn)，目前華清也實(shí)現(xiàn)了突破。這種加熱底盤是作為工藝腔室中的晶片加熱器，對(duì)產(chǎn)品純度要求極高，具有高導(dǎo)熱性和等離子體阻抗，且熱量分布均勻，從粉體制備到陶瓷成型燒結(jié)和后段加工等一系列工序的把控要求都非常苛刻。

氮化鋁陶瓷加熱底盤

華清生產(chǎn)的氮化鋁陶瓷加熱底盤，可根據(jù)客戶需求定制尺寸或特殊形狀的產(chǎn)品，具有高導(dǎo)熱性，可實(shí)現(xiàn)快速加熱和快速冷卻功能。從掃描電鏡圖片看，華清生產(chǎn)的氮化鋁陶瓷晶粒粒徑均勻，無(wú)明顯晶粒偏大現(xiàn)象，能實(shí)現(xiàn)熱量均勻性分布，無(wú)溫差現(xiàn)象，可應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備（PVD,CVD, ETCH，顯影機(jī)等）關(guān)鍵核心零部件。

微觀組織結(jié)構(gòu)SEM照片

目前華清生產(chǎn)的精密陶瓷產(chǎn)品，主要包括氮化鋁和氧化鋁陶瓷兩種材料，產(chǎn)品主要應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備、電動(dòng)汽車、充電樁、IGBT模塊、儲(chǔ)能電池、LED和激光設(shè)備、5G基站、光通訊模塊、醫(yī)療設(shè)備、特種制冷器、散熱器、加熱器、高功率器件、OLED和金屬冶煉、熱分析儀器、研磨設(shè)備、傳感器、燒結(jié)爐設(shè)備、金屬化陶瓷等，產(chǎn)品遠(yuǎn)銷美國(guó)、日本、韓國(guó)、俄羅斯等國(guó)家以及中國(guó)臺(tái)灣等地區(qū)。

華清核心產(chǎn)品業(yè)務(wù)

無(wú)論是氮化鋁陶瓷基板，還是精密陶瓷，在國(guó)內(nèi)都還屬于尚處于技術(shù)與市場(chǎng)發(fā)展初期的新產(chǎn)業(yè)，行業(yè)技術(shù)壁壘高，長(zhǎng)期以來(lái)受國(guó)外企業(yè)壟斷，想要突圍并不容易。做一個(gè)始終走在行業(yè)前列、“啃硬骨頭”的先行者需要極大的決心與魄力，華清這近二十年的開(kāi)拓之路，投入的資金成本及人員精力是難以估量的，但也只有這樣敢于擔(dān)當(dāng)且始終以加強(qiáng)自身實(shí)力為第一位的企業(yè)才能做出如今的成績(jī)。我們期待在精密陶瓷領(lǐng)域，華清能進(jìn)一步帶動(dòng)國(guó)內(nèi)氮化鋁陶瓷市場(chǎng)走向興盛。

未來(lái)，華清也將繼續(xù)秉承“堅(jiān)守初心，做好材料“之理念，以優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和專業(yè)的服務(wù)，繼續(xù)引領(lǐng)中國(guó)氮化鋁陶瓷行業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展，為致力發(fā)展成為世界一流的電子陶瓷材料供應(yīng)商而不懈努力。

粉體圈小吉

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