標準編號：GB/T 41153-2021
標準名稱：碳化硅單晶中硼、鋁、氮雜質含量的測定 二次離子質譜法
起草單位：中國電子科技集團公司第四十六研究所、有色金屬技術經濟研究院有限責任公司、山東天岳先進科技股份有限公司
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會（SAC/TC 203）、全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分技術委員會（SAC/TC 203/SC2）
發布日期：2021-12-31
實施日期：2022-07-01
作者：粉體圈
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