近日,新疆眾和股份有限公司6N(99.9999%)級以上超高純鋁研發成功,實現了超高純鋁提純技術的歷史性突破,為我國高端半導體生產技術的發展提供了穩定可靠的超高純鋁材料。
6N級以上超高純鋁的研發是新疆眾和自主開發的系統性科技創新項目。在一年多的研發過程中,新疆眾和高純鋁研發技術團隊以公司獨特的“定制普鋁+三層提純+偏析提純”高純鋁提純產業鏈為基礎,發揮產業鏈優勢,利用內部普鋁電解提供的優質原材料,攻克了在4N—5N超高純鋁提純階段的關鍵元素及反偏析元素的核心難點。同時,研發團隊通過反復試驗,尋找、優化提純工藝核心裝備與工藝技術的最佳匹配參數,徹底解決了超高純鋁提純二次污染的瓶頸問題,圓滿完成6N級以上超高純鋁研發項目。
國際第三方檢測機構法國圖盧茲EAG實驗室出具的檢測分析報告顯示,新疆眾和提供的6N級以上超高純鋁樣的關鍵微量元素均達到了ppb(濃度達到十億分之一)級別,滿足高端半導體生產技術工藝要求。
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作者:粉體圈
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