在半導體行業的發展進程中,人們通常把Si和Ge元素半導體稱為第一代電子材料,把GaAs、InP、InAs等化合物半導體稱為第二代半導體材料,而把Ⅲ族氮化物(主要包括GaN、相關化合物InN、AIN及其合金)、SiC、InSe、金剛石等寬帶隙的化合物半導體稱為第三代半導體材料。
圖1:半導體
半導體是一種介于導體與絕緣體之間的材料,我們生活的方方面面都離不開半導體技術,電器、燈光、手機、電腦、電子設備等都需要半導體材料制造,第三代半導體材料發展較好的為碳化硅(SIC)與氮化鎵(GaN),其中碳化硅的發展更早一些。
碳化硅晶體結構具有同質多型的特點,其基本結構是Si-C四面體結構。它是由四個Si原子形成的四面體包圍一個碳原子組成,按相同的方式一個Si原子也被四個碳原子的四面體包圍,屬于密堆積結構。
氮化鎵是氮和鎵的化合物,是一種直接能隙的半導體,該化合物結構類似纖鋅礦,硬度很高。氮化鎵的能隙很寬,為3.4電子伏特,可以用在高功率、高速的光電元件中。
我們來看看氮化鎵與碳化硅兩者間的關鍵特性有什么區別。
碳化硅與氮化鎵的關鍵特性對比:
關鍵特性 | 單位 | 碳化硅(SiC) | 氮化鎵(GaN) |
帶隙 | eV | 3.26 | 3.49 |
電子遷移率 | Cm2/Vs | 700 | 2000 |
電子峰值速度 | X107cm/s | 2.0 | 2.1 |
臨界電場 | MV/cm | 3.0 | 3.0 |
熱導率 | W/cm·K | 4.5 | >1.5 |
相對介電常數 | εr | 10.0 | 9.0 |
圖2:半導體材料關鍵特性一覽
從上表可見,GaN提供高電子遷移率,具備出色的擊穿能力、更高的電子密度及速度。
雖然氮化鎵部分性能更好,但發展尚有解決難題
氮化鎵(GaN)半導體材料及器件的發展迅速,目前已經成為寬禁帶半導體材料中耀眼的新星,但是氮化鎵材料的發展尚有解決難題:一是如何獲得高質量、大尺寸的GaN籽晶,因為直接采用氨熱方法培育一個兩英寸的籽晶需要幾年時間;二是氮化鎵產業鏈尚未完全形成。
相較下,碳化硅在當前寬禁帶半導體材料中發展更為成熟,已經形成了全球的材料、器件和應用產業鏈。在第三代半導體材料中,二者均有著非常廣闊的應用前景。
第三代寬禁帶半導體的應用領域
第三代寬禁帶半導體可應用在半導體照明、電力電子器件、激光器和探測器、以及其他4個領域(見下圖3),每個領域產業成熟度各不相同。在前沿研究領域,寬禁帶半導體還處于實驗室研發階段。
圖3:第三代寬禁帶半導體材料應用領域
第三代半導體的發展現狀
目前,美國、日本、歐洲在第三代半導體技術上擁有絕對的話語權。相比美、日,我國在第三代半導體材料上的起步較晚,水平較低。隨著國家對第三代半導體材料的重視,近年來,我國半導體材料市場發展迅速,其中以碳化硅與氮化鎵為主的材料備受關注。2016年,我國啟動了“十三五”國家重點研發計劃“戰略性先進電子材料”重點專項的組織實施工作,第三代半導體材料與半導體照明作為重點專項中最重要的研究領域,得到了國家層面的重點支持。
第三代半導體技術逐步提升,市場逐漸開啟,政策全面加速,資本積極進入,企業加快布局,第三代半導體產業在中國迎來發展“元年”。
資料來源:
中國數字科技館,第三代半導體材料 - 氮化鎵半導體材料;
電子工程網《第三代半導體材料氮化鎵(GaN)技術與優勢詳解》2016-09-17 作者安娜PARKER;
《碳化硅與氮化鎵的優點與不足》作者:芯來厚道;
《從概念應用到收購事件,第三代寬禁帶半導體所有貓膩都在這》SITRI產業研究;
《第三代寬禁帶半導體材料及應用產業發展報告》源自CASA;
《第三代寬禁帶半導體材料,是我國彎道超車的機會》2018-06-11電子發燒友網工程師;
《中科風控:第三代半導體材料——碳化硅(SiC)研究分析》2017-08-16新三板+
粉體圈 作者:曦析
作者:粉體圈
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