半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)體量龐大，中國是全球最大的半導(dǎo)體消費(fèi)市場。隨著制程持續(xù)向精密化、復(fù)雜化發(fā)展，制造設(shè)備對關(guān)鍵陶瓷部件的性能要求也不斷提高。例如：CMP研磨盤需高耐磨、低污染，離子注入和薄膜沉積工序需耐高溫、化學(xué)惰性和低熱膨脹系數(shù)，高溫CVD工藝則要求材料在高頻電場下維持穩(wěn)定溫度梯度。

在眾多陶瓷材料中，高純氧化鋁陶瓷因其出色的絕緣性、耐高溫、耐腐蝕、低釋氣、抗熱震、耐磨損等性能，成為半導(dǎo)體制程中的主力材料。當(dāng)前以998瓷為主，其制備對成型、燒結(jié)及后加工環(huán)節(jié)要求極高，必須依托成熟的粉體配方和工藝調(diào)控能力，才能滿足不同客戶的定制化需求。

高純氧化鋁陶瓷研磨盤/載盤（左） 高純氧化鋁陶瓷絕緣環(huán)（右）

在即將于5月26-28日舉辦的CAC2025廣州先進(jìn)陶瓷論壇暨展覽會上，來自擁有67年技術(shù)積淀的山東硅元新型材料股份有限公司的半導(dǎo)體項(xiàng)目經(jīng)理孟姍姍高工將帶來專題報(bào)告《半導(dǎo)體制造用高精密氧化鋁陶瓷零部件》。報(bào)告將系統(tǒng)介紹先進(jìn)陶瓷的分類、性能優(yōu)勢及市場應(yīng)用，重點(diǎn)分享芯片制程中所需的耐磨盤、載盤、修整環(huán)、大尺寸絕緣框、陶瓷板槽等高精密陶瓷零部件的研發(fā)與制造實(shí)踐。

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關(guān)于報(bào)告人

孟姍姍，高級工程師，半導(dǎo)體項(xiàng)目經(jīng)理，材料學(xué)碩士研究生。一直從事工業(yè)瓷新產(chǎn)品的研發(fā)以及產(chǎn)業(yè)化工作。先后獲專利二十余項(xiàng)，發(fā)表學(xué)術(shù)論文十余篇。2020年度淄博市英才計(jì)劃《半導(dǎo)體設(shè)備用高精密陶瓷產(chǎn)品關(guān)鍵技術(shù)研究及產(chǎn)業(yè)化》項(xiàng)目以及山東省中央引導(dǎo)地方科技發(fā)展資金項(xiàng)目《半導(dǎo)體制造用高精密陶瓷器件的關(guān)鍵技術(shù)研究》技術(shù)負(fù)責(zé)人，且項(xiàng)目已實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。在先進(jìn)陶瓷領(lǐng)域擁有豐富的新產(chǎn)品開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗(yàn)，多年來研制開發(fā)了幾十種先進(jìn)陶瓷新材料和新產(chǎn)品。

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