精密研磨拋光技術是當下把控電子制造業發展的一項關鍵技術，也是關系到產品質量水準的一大關鍵因素，研磨拋光本質上是為了獲得超光滑、超精密、無損傷、無缺陷的晶圓表面，以方便后續光刻得以順利進行。為了能夠達到高質量的表面質量，工藝、設備、拋光液等生產工藝的每一環都至關重要，精密的檢測設備、工藝流程評價體系則又是使整個加工過程得以順利進行的保障——其中對磨料負責的顆粒檢測則是重中之重。

在拋光的過程中，拋光液中的磨料會以微切削、滾壓等方式作用于加工產品表面，以去除表面材料。磨料的粒徑、形狀、分散度、硬度、濃度等因素會在不同程度上影響著產品表面去除效率、效果。

（1）粒徑：粒徑分布寬對粗糙表面的適應性會更好，大顆?？梢匝杆偃コ牧希☆w?？梢赃M入細小凹陷處進行精細拋光，但也導致加工表面的均勻性較差，需要后續處理；粒徑分布窄雖然加工表面的一致性較好，但整體拋光和磨削的效率低；

（2）形貌：球形或類球形顆粒接觸表面的壓力分布均勻，有利于減少劃痕和表面缺陷，但由于接觸面積小而存在效率不足的問題；片狀顆?？梢詼p小磨削過程中產生的劃痕，從而提高晶圓表面的質量，但容易破碎和磨損，需要頻繁更換或補充；

（3）濃度：高濃度拋光液會有更高的磨拋速率和更低的表面質量，低濃度拋光液反之，而通過實驗和數據分析來確定最佳濃度，可以有效提升拋光效果和效率；

還有比如拋光液放置的時間過長，可能會使拋光液中的磨料發生團聚，繼而導致拋光過程和質量失控等問題……

對于不同工序的不同要求，顆粒檢測就是有效規避風險，控制影響因素，從而提高產品的穩定性、可靠性的重要手段。

8月25日-26日，在江蘇無錫舉辦的“2024年全國精密研磨拋光材料及加工技術發展論壇”上，粉體圈特別邀請了丹東百特儀器有限公司的郭志斌高級工程師分享報告《顆粒檢測在精密研磨拋光領域的解決方案以及應用》，報告中將重點講解顆粒檢測技術在精密研磨拋光領域的多種應用、解決方案，同時向您介紹在線激光粒度儀在實時檢測和工藝優化中的應用。

報告人簡介

郭志斌，百特高級應用工程師，為國內外眾多用戶提供顆粒表征技術培訓及解決方案，在測試條件、樣品預處理、數據分析和結果診斷等方面具有豐富的理論基礎和實踐經驗。

無錫研磨拋光論壇