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重要戰略材料:半導體、光纖、光伏領域都要用到的高純石英砂

發布時間 | 2024-07-03 10:42 分類 | 粉體應用技術 點擊量 | 1588
石英 石墨 氧化硅
導讀:高純石英因其獨特的晶體結構和晶格特征成為了半導體、光伏、光學及光纖通信等行業必不可少的原料。隨著這些高新技術領域的迅速發展,高純石英的戰略地位日益突顯,對其品質也提出了更加嚴苛的要...

當前,以云計算、大數據、智能制造和5G為代表的新一代信息和通信科學技術(ICT)的發展,加快催生了新一輪科技革命和產業變革,發展半導體、光伏、光通訊等戰略性新興產業是解決當今中國產業發展問題的關鍵。而高純石英砂憑借極好的化學穩定性、高絕緣耐壓能力和極低的體膨脹系數,成為了這些高新技術產業不可替代的礦物原料。不過,由于不同行業間的差異,對高純石英砂的要求也有所不同。接下來,小編將淺談一下高純石英砂在半導體、光纖、光伏領域的應用差異。

一、半導體領域

半導體石英器件在石英市場占比約65%,是石英制品下游市場中占比最大的應用領域。高純石英砂主要用于生產拉制單晶硅棒的石英坩堝和石英管棒等,在芯片制造環節則用于生產光刻、刻蝕和薄膜沉淀使用的光掩膜基板等。

石英器件在半導體產業中的應用

(來源:凱德石英招股說明書,華福證券研究所)

1、半導體用石英坩堝

半導體用石英砂品質要求通常非常高。以半導體工業中不可或缺的容器石英坩堝為例,其主要用于生長單晶硅,由于需要在千度以上連續工作數小時,其需要具有耐高溫、熱穩定性好、不易變形等性能,而影響石英玻璃性能穩定性的主要因素包括氣泡數量、雜質含量以及羥基含量。因此與其他領域相比,該領域應用的石英坩堝對石英砂純度和粒度等都有著極高的要求,尤其要求低鐵含量、低堿金屬含量。

通常,半導體用石英坩堝(B級)品質純度要求達5N以上(>99.999%),為避免堿金屬雜質的存在影響石英坩堝的透明度和熱學性能,K、Na、Li等雜質質量分數之和應小于2×10-6。同時Fe雜質含量要求小于0.3×10-6,以避免石英與石墨之間的反應。除此之外,由于坩堝中的羥基會對改變SiO?的鍵合結構,致使坩堝強度下降,耐溫性能大幅降低,因此半導體級石英坩堝所用的是高純石英砂還要求羥基含量控制在50-60個ppm,同時粒度分布集中。目前,該級別的高純石英砂主要是依靠國外進口,價格可達100萬元/噸左右。

2、光掩膜基板

光刻是制造半導體器件的必要工藝之一,高純石英砂在光刻領域中同樣扮演著重要角色。它用于制作光掩膜版,作為液晶顯示器、半導體等制造過程中的圖形“底片”轉移用的高精密工具,高質量的高純石英砂可以減少光刻過程中的缺陷,保證芯片制造的精度和穩定性,提高產品的可靠性。

光掩膜基板及其作用(來源:蘇州硅時代電子科技有限公司)

根據光掩模石英玻璃基板現行標準號:GB/T 34178-2017,石英玻璃基板中13種雜質元素(Al、Fe、Ca、Mg、Ti、Cu、Co、Mn、Ni、Li、Na、K、B)含量的質量分數總和應不大于2.0μg/g。其中Li、Na、K3種雜質元素含量的質量分數之和應不大于1.0μg/g,單一雜質元素含量的質量分數應不大于0.5μg/g。

二、光伏

隨著新能源產業的強勁發展,中國光伏產業規模不斷壯大,應用于其中的天然石英產品的市場需求依舊不斷擴大。與半導體領域一樣,光伏用高純石英砂也是主要用于生產石英坩堝、石英舟、石英瓶等起承載作用的部件,同時還用于生產光伏玻璃。

(1)石英坩堝等載具

與半導體領域相比,光伏制造中對石英部件的要求雖然相對較低,但隨著下游客戶對光伏硅片大尺寸化的要求以及硅片技術的革新,對用于制作石英坩堝等載具的高純石英砂要求也在日益提升。


根據國家標準《GB/T 32649-2016光伏用高純石英砂》,光伏用高純石英砂的粒徑應在70μm~350μm范圍內,且在該粒徑范圍的累積質量分數應大于或等于90%。粒徑小于100μm或大于300μm的累積質量分數均應小于1%;光伏用高純石英砂中二氧化硅含量應大于或等于99.99%(4N級),灼燒失量應小于或等于0.01%;光伏用高純石英砂雜質元素總含量應小于或等于25μg/g,其中鉀、鈉含量總和小于2.5μg/g。

然而在實際應用中,石英坩堝內、中、外三層所用石英砂品質有所差異,內層坩堝使用的高純石英砂純度要求達4N8(大于99.998%),且對氣液包裹體、晶格雜質、穩定性也有較高要求,目前主要的供應公司包括美國尤尼明、挪威TQC公司和石英股份,價格在30萬元/噸及以上;中外層則一般需達4N5級(大于99.995%),由于品質要求相對內層砂較低,目前已基本實現國產替代,價格普遍在7萬元/噸及以上。

(2)光伏玻璃

光伏超白玻璃是太陽能光伏電池的重要組件之一,主要作用是為了保護電池片免受水分和氣體氧化及銹蝕電極。為了能夠充分利用太陽輻射發電,光伏超白玻璃對透光率要求很高,這也就對作為占光伏玻璃重量比60%以上的石英砂質量提出了要求。

其實,光伏玻璃對石英砂的純度要求并不是特別高,達到99.2%即可,但對鐵、鈦含量、難熔重礦物等的含量以及粒度要求較高:鐵含量是影響光伏玻璃透過率的重要指標,玻璃中Fe在氧化條件下以Fe3+存在,玻璃呈現黃綠色;在還原狀態下以Fe2+存在,使玻璃呈綠色,導致玻璃透過率降低且影響玻璃熔化和澄清效果,因此應用于光伏玻璃的石英砂鐵含量通常要求不超過100ppm;值得注意的是,含鈦氧化物同樣會使玻璃發黃,造成紫外線、可見光透過率明顯降低,因此其含量也需控制在300ppm以內。此外,為得到高質量玻璃液以及降低熔化玻璃能耗,超白玻璃用石英砂有嚴格的粒度要求,一般粒度需嚴格控制在0.71mm以下,且0.104mm以下占比不超過5%;而對于難熔重礦物的總量要求則需小于5ppm(以Cr2O3計),單個顆粒直徑≤0.25mm,以避免在光伏玻璃上形成結石,對后期成品加工產生影響。

三、光纖領域

光纖通信是一種利用光波在光導纖維中傳輸信息的通信技術,具有高速、大容量、低損耗、抗干擾能力強、安全性高等優點,是現代通信網絡的重要組成部分。

為降低光纖損耗,保證傳輸效率,作為光傳導工具的光纖,二氧化硅含量需達到99.99%以上,因此其通常是以高純四氯化硅為原料制作成雜質元素總含量低于2ppm的高純合成石英,即光纖預制棒,然后在2000度高溫下軟化拉制成絲制得。而天然高純石英砂則由于達到高純度難度較大,主要用于生產拉絲過程中所用的外套管、把持棒/管、支撐棒、尾棒尾管、燒結用大口徑爐芯管、拉絲爐用密封法蘭等。通常這些石英部件所用的高純石英砂純度要求高達99.995%以上,目前價格在4.8-5.5萬左右/噸。

光纖預制棒(來源于網絡)

光纖用石英制品(來源:國聯云

總結

高純石英因其獨特的晶體結構和晶格特征成為了半導體、光伏、光學及光纖通信等行業必不可少的原料。隨著這些高新技術領域的迅速發展,高純石英的戰略地位日益突顯,對其品質也提出了更加嚴苛的要求。然而,我國由于優質礦源較為稀缺,高純石英砂,尤其是半導體級高純石英砂長期以來依賴進口,在一定程度上限制了我國高新技術領域的發展。因此,未來我國還需不斷尋找優質礦源,改進高純石英提純工藝,同時加速發展其人工合成技術。

 

參考來源:

1、武志超,張海啟,譚秀民,等.高純石英應用及化學提純技術研究進展[J].化工礦物與加工.


粉體圈Corange整理

作者:Corange

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