標(biāo)準(zhǔn)編號(hào)：GB/T 42902-2023
標(biāo)準(zhǔn)名稱：碳化硅外延片表面缺陷的測(cè)試 激光散射法
起草單位：安徽長飛先進(jìn)半導(dǎo)體有限公司、廣東天域半導(dǎo)體股份有限公司、安徽芯樂半導(dǎo)體有限公司、南京國盛電子有限公司、浙江芯科半導(dǎo)體有限公司、河北普興電子科技股份有限公司、中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所。
歸口單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 203)與全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)材料分技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC203/SC2)
發(fā)布日期：2023-08-06
實(shí)施日期：2024-03-01
作者：粉體圈
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