據湖北日報報道，12月8日，總投資約15億元的吉盛微公司武漢碳化硅制造基地在武漢經開綜合保稅區正式投產，主要生產半導體產業鏈關鍵設備的零部件和耗材。
據悉，今年2月在上海舉行的2023武漢招商引資推介大會上，盛吉盛（寧波）半導體科技有限公司簽約本次項目。近年來，盛吉盛半導體致力于推動半導體設備和關鍵零部件國產化，已有多款設備和零部件交付國內龍頭客戶。今年3月，吉盛微（武漢）新材料科技有限公司成立，主要從事半導體及泛半導體設備用CVD Sic原材料及Sic 部件（Ring、Shower Head、Boat、Fin、Tube、plate、Susceptor、Bolt、Pin等）、超高純高精密陶瓷材料及部件、Sic Epi Wafer、CVD Sic設備的研發及生產制造。6月啟動生產線設計施工，8月入駐試生產。
隨著基地項目正式投產，吉盛微已經完成了刻蝕、擴散、外延、快速熱處理等多個工藝的零部件、耗材開發工作，部分產品填補了國內空白，初步具備穩定的生產供貨能力。
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作者：粉體圈
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