據(jù)湖北日?qǐng)?bào)報(bào)道，12月8日，總投資約15億元的吉盛微公司武漢碳化硅制造基地在武漢經(jīng)開綜合保稅區(qū)正式投產(chǎn)，主要生產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈關(guān)鍵設(shè)備的零部件和耗材。

據(jù)悉，今年2月在上海舉行的2023武漢招商引資推介大會(huì)上，盛吉盛（寧波）半導(dǎo)體科技有限公司簽約本次項(xiàng)目。近年來，盛吉盛半導(dǎo)體致力于推動(dòng)半導(dǎo)體設(shè)備和關(guān)鍵零部件國(guó)產(chǎn)化，已有多款設(shè)備和零部件交付國(guó)內(nèi)龍頭客戶。今年3月，吉盛微（武漢）新材料科技有限公司成立，主要從事半導(dǎo)體及泛半導(dǎo)體設(shè)備用CVD Sic原材料及Sic 部件（Ring、Shower Head、Boat、Fin、Tube、plate、Susceptor、Bolt、Pin等）、超高純高精密陶瓷材料及部件、Sic Epi Wafer、CVD Sic設(shè)備的研發(fā)及生產(chǎn)制造。6月啟動(dòng)生產(chǎn)線設(shè)計(jì)施工，8月入駐試生產(chǎn)。

隨著基地項(xiàng)目正式投產(chǎn)，吉盛微已經(jīng)完成了刻蝕、擴(kuò)散、外延、快速熱處理等多個(gè)工藝的零部件、耗材開發(fā)工作，部分產(chǎn)品填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白，初步具備穩(wěn)定的生產(chǎn)供貨能力。

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