標準編號:GB/T 42905-2023
標準名稱:碳化硅外延層厚度的測試 紅外反射法
起草單位:安徽長飛先進半導(dǎo)體有限公司、安徽芯樂半導(dǎo)體有限公司、河北普興電子科技股份有限公司、廣東天域半導(dǎo)體股份有限公司、南京國盛電子有限公司、浙江芯科半導(dǎo)體有限公司、布魯克(北京)科技有限公司、中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所、有色金屬技術(shù)經(jīng)濟研究院有限責(zé)任公司。
歸口單位:全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會(SAC/TC203)與全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會材料分技術(shù)委員會(SAC/TC203/SC2)
發(fā)布日期:2023-08-06
實施日期:2024-03-01
作者:粉體圈
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