標準編號：GB/T 42905-2023
標準名稱：碳化硅外延層厚度的測試 紅外反射法
起草單位：安徽長飛先進半導體有限公司、安徽芯樂半導體有限公司、河北普興電子科技股份有限公司、廣東天域半導體股份有限公司、南京國盛電子有限公司、浙江芯科半導體有限公司、布魯克(北京)科技有限公司、中國科學院半導體研究所、有色金屬技術經濟研究院有限責任公司。
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)與全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分技術委員會(SAC/TC203/SC2)
發布日期：2023-08-06
實施日期：2024-03-01
作者：粉體圈
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