隨著近年全球范圍的經(jīng)濟(jì)衰退和產(chǎn)業(yè)鏈重塑影響，制造業(yè)的亮點(diǎn)和焦點(diǎn)集中在新能源、半導(dǎo)體、電子通訊少數(shù)幾個領(lǐng)域，以光刻機(jī)為代表的關(guān)鍵設(shè)備國產(chǎn)化也成為國家戰(zhàn)略高度的課題。但具體到不同細(xì)分領(lǐng)域，問題復(fù)雜程度超乎想象，只有步步為營，才能由點(diǎn)及面地解決系統(tǒng)性難題。本文主要介紹的是用于多層陶瓷片膜（如MLCC）、固體氧化物燃料電池（SOFC）、多層共燒陶瓷基板（LTCC、HTCC）等的關(guān)鍵設(shè)備及其研發(fā)商——武漢坤元流延科技有限公司（武漢坤元）。

類似很多高端進(jìn)口設(shè)備，KEKO、日本橫山等進(jìn)品牌的流延成型設(shè)備曾一度非常昂貴，動輒幾百上千萬，這同樣是制約我國眾多依賴流延工藝生產(chǎn)的行業(yè)發(fā)展。在此背景下，武漢坤元成立伊始就進(jìn)行考察調(diào)研和系統(tǒng)實踐的驗證，最終研發(fā)了出了以陶瓷流延機(jī)、溫等靜壓機(jī)、溫水均壓機(jī)為主的陶瓷流延成型工藝的成套設(shè)備。經(jīng)過不斷積累發(fā)展，武漢坤元如今已是電子、物理、環(huán)保、新能源材料等領(lǐng)域的新材料片膜流延成型工藝的領(lǐng)先專業(yè)設(shè)備供應(yīng)商，可提供包括陶瓷流延機(jī)、真空脫泡機(jī)、輥筒球磨機(jī)、裁切機(jī)、溫等靜壓機(jī)、真空疊層機(jī)、涂覆機(jī)、雙面涂層流延機(jī)等各類濕法成型成套設(shè)備。

一、明星設(shè)備

1、溫等靜壓機(jī)——高密度、高精度多層陶瓷生坯和薄膜的關(guān)鍵成型設(shè)備。

技術(shù)參數(shù)：

【1】工作壓力：25MPa、40MPa、60MPa、100MPa(可選)；

【2】工作介質(zhì)：自來水/去離子水；

【3】使用溫度：最高80℃(可調(diào))。

性能特點(diǎn)：

【1】操作系統(tǒng)：10寸彩色液晶觸摸屏、電氣控制系統(tǒng)為西門子PLC可編程序控制；

【2】增壓及加熱系統(tǒng)：利用氣體驅(qū)動增壓泵，程序控制壓力大小，從而有效地實現(xiàn)控制。采用電加熱，加熱加壓具有同時工作的功能；

【3】全自動化多段控制系統(tǒng)：可以全自動化多段程序預(yù)熱，增壓，恒壓，降壓；

【4】溫度控制系統(tǒng)：多層生坯在等靜壓的過程中，需要一定的溫度。并且可以對于不同的工藝參數(shù)進(jìn)行不同溫度的設(shè)定。加熱加壓具有同時工作的功能；

【5】水位檢測系統(tǒng)：當(dāng)主壓力腔體中的水位不足時，設(shè)備水位自動報警；

【6】具有過熱斷電保護(hù)功能，空燒或者水位不足及過熱時，設(shè)備自動斷電保護(hù)。

2、陶瓷流延機(jī)（大型、中型、實驗型）——精確控制能夠確保生產(chǎn)出高質(zhì)量、均勻厚度的薄膜基板，可用于SOFC、LTCC、HTCC、MLCC片、功能薄膜材料、壓電陶瓷、陶瓷基板、片狀陶瓷元件、柔性磁性薄膜、傳感器、固體氧化物燃料電池的研發(fā)、生產(chǎn)。

大型流延機(jī)

技術(shù)參數(shù)：

【1】流延寬度：240-1000mm之間合適；

【2】速度：0.015-5.0（M/min）；

【3】狹縫高度：5～4500μm；

【4】調(diào)刀精度：0.001mm；

【5】機(jī)械厚度精度：±(1um+2%厚度)；

【6】底板控制溫度：室溫～100℃（可調(diào)）；

【7】進(jìn)風(fēng)最高溫度100℃，每段可獨(dú)立調(diào)節(jié)（可以根據(jù)工藝另配高溫模塊）；

【8】自動供料系統(tǒng)：液位高度0-40.0mm；

【9】膜帶纏繞帶有張力控制功能；

【10】適用漿料溶劑：水性，有機(jī)溶劑。

性能特點(diǎn)：

生產(chǎn)效率高、設(shè)備精度高、操作簡便、維護(hù)方便。

3、真空疊層壓機(jī)——應(yīng)用于多層片膜制造過程中用半固化片或烘干后的片狀材料。在溫度和壓力作用下，將片膜在真空、加溫、高壓下粘合起來。

技術(shù)參數(shù)：

【1】平臺尺寸：210*210mm（可定制）；

【2】加熱平臺溫控范圍：室溫-120℃；

【3】加熱模塊均勻性：±2℃；

【4】腔體真空度：最高-0.065MPa；

【5】壓力范圍：6-40噸（可定制）。

性能特點(diǎn)：

模塊式加熱系統(tǒng)，溫度均勻性高；工作室真空狀態(tài)有液晶顯示屏顯示，直觀可靠；高壓環(huán)境采用液壓壓力單元，壓力控制精準(zhǔn)。

二、核心技術(shù)

武漢坤元的設(shè)備相關(guān)的專利布局全面覆蓋：流延烘道類，流延刮刀類，雙面涂覆，真空疊層，新型溫等靜壓密封，新型溫等靜壓的缸體結(jié)構(gòu)等，并且通過不斷實驗，保證其穩(wěn)定性及可靠性然后應(yīng)用于設(shè)備上。

三、典型案例

新能源方面：惠州億緯鋰能有限公司（惠州市億緯新能源研究院）、漢福賽爾新能源科技有限公司；

氮化硅基板方面：中材高新氮化物陶瓷有限公司；

LTCC和大規(guī)格MLCC方面：成都容瓷電子科技有限公司、研創(chuàng)光電科技（贛州）有限公司等。

小結(jié)

目前全球經(jīng)濟(jì)和國際關(guān)系等并不樂觀，但武漢坤元看來也是企業(yè)發(fā)展的契機(jī)，盡可能早和盡可能多的實現(xiàn)關(guān)鍵設(shè)備進(jìn)口替代，在精度和穩(wěn)定性上追趕和實現(xiàn)超越，為國內(nèi)半導(dǎo)體、電子通訊和新能源產(chǎn)業(yè)發(fā)展助力，為健全穩(wěn)固的產(chǎn)業(yè)生態(tài)助力。

歡迎各位屆時蒞臨CAC 2024廣州國際先進(jìn)陶瓷產(chǎn)業(yè)鏈展覽會（同期展會：粉體裝備展、粉末冶金及3D打印展），武漢坤元流延科技有限公司——展位號：B534，現(xiàn)場了解更多相關(guān)信息。

粉體圈整理

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