據湖北日報近日報道，在武漢工程大學舉辦的新能源新材料產學融合創新論壇暨成果轉化簽約儀式上，該校趙培教授團隊研發的化學氣相沉積法制備碳化硅單晶的工藝及配套設備項目以2300萬元成功轉化至武漢新硅科技潛江有限公司。

據趙培教授介紹，這個項目采用化學氣相沉積技術，能在“多維度、大尺寸”工件上制備多種功能薄膜，賦予工件更多功能及更為優越的性能，擴大工件應用范圍，可以廣泛用于機械、微電子、光學等領域。例如，碳化硅薄膜具有出色的硬度、耐磨性和抗腐蝕性能，因此可以用作涂層材料，以增強機械零件的耐磨性和壽命；碳化硅具有較高的熱導率和較低的介電常數，可用于制備高性能散熱材料和低介電常數的絕緣層；以較高的透過率和化學穩定性，碳化硅薄膜可用于光學涂層和光學器件。

新硅科技是一家專業從事高純四氯化硅等高純光電子材料研發、生產的高新技術企業，國內高純四氯化硅的生產商之一，可以提供11N級產品，產品銷售給國內各大光纖集團，并出口日本、韓國等地。目前主營產品有：高純四氯化硅（STC，SiCl4），六氯乙硅烷（HCDS，Si2Cl6）。正在進行項目建設的新產品有（已研發）：四氯化鈦（TiCl4）、三氯化硼（BCl3）、正硅酸乙酯（TEOS）、ALD/CVD前驅體材料（TDMAT等）、甲基（有機）硅烷類等。

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