據(jù)湖北日?qǐng)?bào)近日?qǐng)?bào)道，在武漢工程大學(xué)舉辦的新能源新材料產(chǎn)學(xué)融合創(chuàng)新論壇暨成果轉(zhuǎn)化簽約儀式上，該校趙培教授團(tuán)隊(duì)研發(fā)的化學(xué)氣相沉積法制備碳化硅單晶的工藝及配套設(shè)備項(xiàng)目以2300萬(wàn)元成功轉(zhuǎn)化至武漢新硅科技潛江有限公司。

據(jù)趙培教授介紹，這個(gè)項(xiàng)目采用化學(xué)氣相沉積技術(shù)，能在“多維度、大尺寸”工件上制備多種功能薄膜，賦予工件更多功能及更為優(yōu)越的性能，擴(kuò)大工件應(yīng)用范圍，可以廣泛用于機(jī)械、微電子、光學(xué)等領(lǐng)域。例如，碳化硅薄膜具有出色的硬度、耐磨性和抗腐蝕性能，因此可以用作涂層材料，以增強(qiáng)機(jī)械零件的耐磨性和壽命；碳化硅具有較高的熱導(dǎo)率和較低的介電常數(shù)，可用于制備高性能散熱材料和低介電常數(shù)的絕緣層；以較高的透過(guò)率和化學(xué)穩(wěn)定性，碳化硅薄膜可用于光學(xué)涂層和光學(xué)器件。

新硅科技是一家專業(yè)從事高純四氯化硅等高純光電子材料研發(fā)、生產(chǎn)的高新技術(shù)企業(yè)，國(guó)內(nèi)高純四氯化硅的生產(chǎn)商之一，可以提供11N級(jí)產(chǎn)品，產(chǎn)品銷售給國(guó)內(nèi)各大光纖集團(tuán)，并出口日本、韓國(guó)等地。目前主營(yíng)產(chǎn)品有：高純四氯化硅（STC，SiCl4），六氯乙硅烷（HCDS，Si2Cl6）。正在進(jìn)行項(xiàng)目建設(shè)的新產(chǎn)品有（已研發(fā)）：四氯化鈦（TiCl4）、三氯化硼（BCl3）、正硅酸乙酯（TEOS）、ALD/CVD前驅(qū)體材料（TDMAT等）、甲基（有機(jī)）硅烷類等。

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