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GB/T 30656-2023 碳化硅單晶拋光片

發布時間 | 2023-04-28 11:51 分類 | 行業標準 點擊量 | 956
碳化硅
導讀：本文件規定了4H及6H碳化硅單晶拋光片的牌號及分類,技術要求、試驗方法,檢驗規則.標志、包裝,運輸.貯存、隨行文件和訂貨單內容。本文件適用于生產電力電子器件﹑射頻微波器件及IED發光器件的外延...

標準編號：GB/T 30656-2023

標準名稱：碳化硅單晶拋光片

起草單位：北京天科合達半導體股份有限公司、中國科學院物理研究所、南京國盛電子有限公司、安徽長飛先進半導體有限公司、有色金屬技術經濟研究院有限責任公司。

歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)與全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分技術委員會(SAC/TC203/SC2)

發布日期：2023-03-17

實施日期：2023-10-01

作者：粉體圈

總閱讀量：956