2022年11月29日,日本安達滿納米奇精密寶石有限公司(アダマンド並木精密寶石;Adamant Namiki Precision Jewel Co. Ltd.)宣布已開始試銷12英寸藍寶石基板(?300)。公告稱,12英寸藍寶石基板為全球首次銷售。
12英寸藍寶石基板
長久以來,藍寶石一直被用作LED照明光源的主要襯底材料——除了Cree采用碳化硅襯底、晶能采用硅襯底,目前世界上絕大多數的芯片制造商都采用藍寶石襯底。而近年來由于半導體市場的需求增加,行業對大尺寸襯底(12英寸)的需求也在增長。因此為了滿足這種預期外的增長需求,一直致力于生產更高質量的藍寶石襯底的Adamant Namiki利用現有的藍寶石襯底制造技術和經驗,成功地制造了12英寸的大型藍寶石襯底。產品主要具有以下特征:
①藍寶石襯底表面的顆粒數極低,在2至8英寸尺寸的范圍內,每2英寸的0.3微米或更大的顆粒少于50,主要金屬(K、Ti、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn)則為2E10/cm 2以下。這種12英寸的基材也有望達到這個等級。
②可作為12英寸半導體制造工藝的載體晶圓(設備內運輸托盤),并作為粘接的基材。
③可對凹凸面的形狀進行控制。
從左到右:2英寸、4英寸、6英寸、8英寸、12英寸藍寶石基板
安達滿納米奇公司是一家主營硬質材料的加工及相關工業產品制造的先進材料企業。自幾年前開始生產更高質量的藍寶石襯底,除了襯底表面清潔度和形狀控制相關的技術改進外,還一直在開發大尺寸襯底,今年4月曾有新聞報道它成功開發了超高純度2英寸金剛石晶圓的量產方法。
關于安達滿納米奇公司
安達滿納米奇主營硬質材料的加工及產品制造。“安達滿”意為“極硬”,此詞起源于“adamas”,是希臘字“金剛石”的意思。前身納米奇制作所于1939年成立于日本東京,最開始為電氣測量儀器生產人造藍寶石寶石軸承。
1953年,納米奇精密寶石有限公司和安達滿有限公司商業合并成為安達滿納米奇精密寶石有限公司。隨后多年來一直為半導體、通信、醫療理化、精密儀器生產提供工業用寶石配件、光通信配件、DC核心發動機配件等產品。2014年時同九州大學、大阪大學共同開發世界上第一次的等離子融合化學機械拋光加工技術(CMP),并自2015年起開始開發大直徑金剛石。
注:自2023年1月1日起,安達滿納米奇公司的名稱將變更為Orbray株式會社。
粉體圈Coco編譯整理
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作者:粉體圈
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