今年5月，日經技術在線爆料：日本凸版印刷公司為了滿足中國市場對半導體光掩膜需求的增長，計劃在上海凸版光掩模有限公司的工廠用地內建設新廠房，將產能增強30％。多年以來，集成電路用石英玻璃產品市場的主要份額集中在少數國際寡頭企業手中。其中美國康寧、日本凸版印刷等，早已實現機械化、自動化規模生產。

石英玻璃屬于典型的脆硬材料，光學冷加工難度大，加工效率低，其生產工藝較為復雜。建材報最近報道：中國建材總院項目組通過對精密加工技術的研發，引入或試制了多種精密加工設備，并開發、完善了集成開發掩膜版用高精度石英玻璃基片的精密加工技術與系統。中國建材總院建立的石英玻璃基板生產線，實現了產品的批量加工、高精度加工，在保證產量的同時其質量也能夠完全滿足IC產業光掩膜版用玻璃基板的高精度要求。隨著中國建材總院與多家國內外客戶達成了長期合作的意向，我國企業已不再純粹依賴國外進口，而是將其部分訂單逐步移交中國建材總院進行加工和生產。

日前，科技日報刊文：蚌埠玻璃工業設計研究院利用核心技術和裝備建設的電子信息顯示超薄玻璃生產線，穩定生產出0.2毫米超薄玻璃基板，將自己半年前創造的0.3毫米的國內電子玻璃工業化生產的極限再次提升。0.2毫米超薄玻璃基板的成功量產，成為提升中國浮法玻璃技術水平的重大突破，對打破國外壟斷，完全替代目前面板行業對超薄玻璃的需求而進行的對較厚玻璃的二次減薄環節，節約資源、降低成本、保護環境具有重要意義，同時也為電子信息行業發展提供了強有力的技術支撐和關鍵產品。

自然界當中的石英礦石往往含有多種雜質，將石英礦石粉碎、提純可獲取純度較高石英砂。石英砂通過熔煉生成石英玻璃是國內最為常見的手段，而為了獲取純度更高的石英玻璃，則需通過化學手段。

一般會采取氣相沉積（CVD）法這一粉體技術，同時還要采取工藝去除合成環節當中的氣泡。為了消除加工時溫度變化而產生熱應力的危害，還要采取相應的退火工藝。為了減少浪費，提升良品率，還涉及到切割工藝的改進。最后再經過精細拋光和研磨工藝的完善，才算最終出爐成品。

未來，我國集成電路制造業的產能還將穩步增長。作為生產集成電路的配套消耗性材料，光掩膜基板用石英玻璃批量生產的意義不言而喻。打破壟斷，與國際寡頭分蛋糕，這是美好誘人的想法，越來越多的國內企業要么已經實現想法，要么正在實現想法的路上，這勢必帶來一輪石英行情，你準備好了么？

（粉體圈 作者：啟東）