近日，由中科院上硅所牽頭的2017年國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃“重點(diǎn)基礎(chǔ)材料技術(shù)提升與產(chǎn)業(yè)化”專項(xiàng)“高性能陶瓷部件高效精密制造關(guān)鍵技術(shù)”項(xiàng)目順利通過綜合績效評價。

代表性成果：國產(chǎn)光刻機(jī)用大尺寸SiC精密陶瓷部件和碳化硅熱交換管生產(chǎn)示范線

該項(xiàng)目面向市場迫切需求的幾類典型高性能陶瓷材料部件的高效精密制造需求，重點(diǎn)開展高性能結(jié)構(gòu)陶瓷的微結(jié)構(gòu)與組成設(shè)計(jì)、精密成型、高溫?zé)Y(jié)、精密加工、工程化制造與應(yīng)用等研究，突破了大尺寸復(fù)雜結(jié)構(gòu)陶瓷部件的高效精密成型、低應(yīng)力微小變形高溫?zé)Y(jié)、高效高精度加工、高純材料制備、工程化制造與應(yīng)用、服役性能評價等關(guān)鍵技術(shù)；面向國家重大需求和經(jīng)濟(jì)主戰(zhàn)場，研制出了光刻機(jī)用碳化硅陶瓷運(yùn)動臺、高端裝備用氮化硅軸承球、化工用碳化硅熱交換管、半導(dǎo)體用高純碳化硅涂層和氧化鋁承載盤等系列典型產(chǎn)品，建成了碳化硅陶瓷熱交換管和氮化硅陶瓷生產(chǎn)線。

該項(xiàng)目負(fù)責(zé)人為上海硅酸鹽所劉學(xué)建研究員，聯(lián)合北京中材人工晶體研究院有限公司、中國建筑材料科學(xué)研究總院有限公司、上海中科易成新材料技術(shù)有限公司、無錫英羅唯森科技有限公司、中材高新氮化物陶瓷有限公司、洛陽軸研科技股份有限公司、廣東工業(yè)大學(xué)、清華大學(xué)、上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司和鄭州磨料磨具磨削研究所有限公司總計(jì)11家單位共同承擔(dān)。

參考來源：上硅所

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