6月7日，日本特殊陶業(yè)（NGKNTK）宣布，公司決定在宮城縣富宮市高屋敷西區(qū)建設新工廠以滿足半導體市場需求，生產(chǎn)靜電吸盤、結構陶瓷制品，預計將于2025年4月投產(chǎn)。

日本特殊陶業(yè)由NGK和NTK組成，NTK ceratec主要負責向傳感器、電子元件、刀具、生物陶瓷、醫(yī)療應用、環(huán)境能源等廣泛領域提供技術陶瓷產(chǎn)品。據(jù)公告，由于社會和經(jīng)濟數(shù)字化的快速發(fā)展，對半導體的需求正在增加，建設新工廠可以優(yōu)化現(xiàn)有生產(chǎn)線，實現(xiàn)高效率、高品質(zhì)制造。

NTK的氮化鋁靜電吸盤

現(xiàn)代半導體制造工藝中晶圓的加工過程有著多道工序，如等離子體浸沒離子摻雜、離子注入、物理氣相沉積、化學氣相沉積等，每一道工序都需要保證晶圓的平穩(wěn)固定。通過靜電吸附作用來固定晶圓，其優(yōu)點在于吸附作用均勻分布于晶圓表面，晶圓不會發(fā)生翹曲變形，吸附作用力持續(xù)穩(wěn)定，可以保證晶圓的加工精度；靜電吸盤對晶圓污染小，對晶圓無傷，可以應用于高真空環(huán)境中。靜電吸盤通常采用氧化鋁陶瓷、氮化鋁陶瓷及藍寶石，目前芯片大廠所用的半導體加工設備上的氮化鋁靜電吸盤，大部分來自于NTK ceratec。

粉體圈 YUXI

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