臺式掃描電鏡擁有比光鏡優異的多的放大倍數和大景深，同時對比大型落地電鏡又有占地小、操作簡便，價格低等優點，一經推出就受到廣大客戶歡迎。比如——

區別于眾多臺式掃描電鏡，COXEM（庫賽姆）的EM 30+沒有簡化配置，它的性能和功能基本等同于落地式電鏡，例如一般臺式電鏡只配置一種探測器用于成像，和落地式電鏡一樣配置了SE（二次電子）探測器作為基礎成像單元，并且分辨率提高到優于5nm的水平，遠遠領先于其他品牌，此外加速電壓也達到了落地式電鏡的30kV，加上專業的牛津/布魯克能譜儀（EDS），使得臺式電鏡具備了完備的表面形貌及元素襯度的觀測分析功能，對材料微區元素組成進行高效、穩定、準確的定性、定量分析，有針對性的滿足客戶的需求，可與傳統大型掃描電鏡相媲美。

一、最直觀的觀察

常見的如粒徑分布、流動性、比表面積等理化參數可以從宏觀角度對粉體表征，而掃描電鏡可以做到從諸如粉體形態、組成、晶型、內部結構等微觀角度觀察分析，而這些往往起到決定性作用。掃描電鏡的運用可以將宏觀與微觀相結合關聯分析，對材料研發和質量控制提供堅實基礎。

看似差不多的粉體樣品，其實形貌千變萬化：球狀/片層/針狀/塊狀...

同屬球狀顆粒，其組成狀態及表面粗糙度也有極大區別

二、高分辨從容應對：不同粒度&不同分散狀態的粉體

以激光粒度儀和納米粒度儀為例，其量程范圍分別適用于微米和納米樣品，掃描電鏡則覆蓋了從毫米級到納米級樣品的測量，不僅分辨率高，且放大倍數連續可調，COXEM的分辨率可達5nm。

微米級樣品

納米級樣品

三、全面檢測：SE/BSE同時成像 & 優異的元素表征

此處劃重點，COXEM是同時擁有背散射電子成像（BSE）和二次電子成像（SE）功能的臺式電鏡。BSE探測器表征成分信息，SE探測器表征形貌信息，樣品不論是粉體材料還是處理后產品，都可進行全面表征。另，能譜(EDS)則可以對顆粒組成元素表征，COXEM臺式電鏡可以在1-30kV加速電壓下同時表征樣品細節形貌和成分信息。

金屬粉末樣品

如圖所示為金屬鈦和鋁混合物

燒結陶瓷樣品

左：SE起伏形貌信息 右：BSE成分襯度信息

左：FeSiAl片層樣品 右：單個顆粒的能譜（EDS）細節分析

四、測得容易：自動化&智能化 解決方案

掃描電鏡硬件本身再強大，也只能提供測量功能，當面對大批量粉體樣品需要做統計性表征時，還必須擁有足夠強的軟實力。軟實力主要包括自動功能提供的簡便操作，比如自動聚焦、對中、亮度和對比度等自動成像功能；還有就是軟件統計性分析及定制化能力，統計性分析能力可節省大量人力和時間成本并減少人工介入導致的誤差，定制化能力則在面對復雜樣品時根據特定需求完成分析任務。

左：光學導航可輕松找到感興趣位置； 右：大樣品倉可放入批次樣品

團聚顆粒的識別

顆粒識別

左：混合樣品 右：對該混合樣品球形顆粒分類識別統計

結語

綜上，COXEM（庫賽姆）臺式掃描電鏡不僅具有可和大型電鏡相媲美的超高分辨率，同時分析性能也很強悍，還具有超大的樣品容量，能同時對多個樣品進行分析并能智能區分雜質和一些元素。北京天耀科技有限公司作為臺式電鏡的領導者——COXEM（庫賽姆）品牌中國區域戰略合作伙伴， 擁有行業內經驗豐富的資深技術人員與專業化銷售團隊，能夠更準確把握市場方向，并以“優質客戶服務”為導向不懈耕耘。粉體圈謹代表廣大臺式電鏡用戶感謝天耀科技對本文的貢獻。

粉體圈 啟東

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