硅溶膠(納米SIO2粒子分散在水或者有機溶劑中形成的膠體分散液)作為CMP拋光液的重要組成部分,在超大規模集成電路硅襯底及層間電介質、淺溝槽隔離絕緣體、導體和鑲嵌金屬等全局平坦化過程中的有著重要的應用。隨著國內半導體產業的野蠻成長,該材料已經成為產業界的一顆明亮的新星。如果您對該材料有興趣,誠邀您參加由粉體圈主辦的“2021年全國二氧化硅材料技術創新與高端應用交流會”。屆時,我們將對硅溶膠在CMP拋光液中的應用進行專題報告探討,并在7月9號晚上7:30-8:30舉辦關于該話題的圓桌會議。誠邀您的參與。
圓桌會議日程安排
地點:長沙楓林賓館三樓1號會議室
時間:2021年7月9日 19:30-20:30
參會嘉賓:
呂 毅(航天特種材料及工藝技術研究所,研究員)
張澤芳(上海映智研磨材料有限公司,博士、總經理)
韓 鵬(華南師范大學物理與電信工程學院,教授、博士生導師,副院長 )
阮建軍(江蘇聯瑞新材料股份有限公司,董事長助理 )
向龍華(深圳市叁星飛榮機械有限公司,常務副總)
黃運雷(江西中節能高新材料有限公司,總經理)
樊永根 ( 浙江格洋新材料股份有限公司,董事長)
童躍進 (福建師范大學,教授、博士生導師 )
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加入我們,請速聯系:13168670536 黃小姐
全國二氧化硅材料技術創新與高端應用交流會組委會
2021年6月29日
作者:粉體圈
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