日前徐州市科技局傳來消息，2015年度的科學技術獎獲獎名單出爐，由江蘇中能硅業科技發展有限公司完成的 “硅烷流化床顆粒硅高效沉積工藝及關鍵設備開發”項目獲得一等獎。
流化床法的工藝簡圖
硅烷流化床法是指，將硅烷通入加有小顆粒硅粉的流化床反應爐內進行連續熱分解反應，生成粒狀多晶硅。
該項目設計開發出大型、高壓流態化反應器，單套產能達到3000噸/年，為世界最大的單套流化床顆粒硅生產裝置；采用碳化硅涂層技術，增加了內襯的防磨蝕能力，減少了產品污染，提升了品質，為國內首創，為同行業的技術進步起到了標桿作用。
隨著流化床法在純度方面的困擾逐步解除，現有技術已完全具備低成本電子級硅料的生產能力。流化床法將有可能憑借其獨有的成本優勢和純度保證，成為行業的下一個選擇。
（粉體圈 作者：郜白）
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