以二氧化鈰為核心的稀土拋光磨料因其硬度適中、反應活性高、選擇性高而表現出具有更高的切削速度、拋光精度和表面光潔度，在半導體、光學元件、液晶顯示屏等高端制造領域不可替代——晶圓CMP是最典型的應用。近些年來，全球電子產品（如智能手機、平板電腦、新能源汽車等）爆發式增長，半導體市場大規模擴張，這些都帶動了稀土拋光材料需求的激增。

之前研究結果顯示，包括磨料顆粒的形貌、尺寸，在拋光液中的分散懸浮性能以及二氧化鈰Ce³⁺含量，上述因素皆對拋光去除率和表面粗糙度有著重要影響。因此，設計和開發新型高性能稀土拋光磨料，對其粒度、形貌進行嚴格控制，并對其化學活性實現有效調控、抑制磨料顆粒間的團聚來提高磨料分散懸浮穩定性，是提升拋光效率和降低表面缺陷的重要途徑，也是實現稀土拋光材料高端化的重要方向。

在學界和業界有一些前沿和成功的案例，比如可以通過水熱合成、分級沉淀等技術實現納米級單分散，消除大顆粒影響；比如通過表面修飾、介質調控使懸浮穩定性大幅躍升；比如通過氣氛煅燒和摻雜提升Ce³⁺占比；還比如通過合成條件定向設計顆粒長徑比、球形度等……包頭稀土研究院高級工程師、稀土拋光材料研究室李曉佩主任主要從事鈰基稀土拋光材料的設計制備、性能優化及其產業化應用研究，定于2025年7月24-25日在東莞喜來登大酒店舉辦2025年全國精密研磨拋光材料及加工技術發展論壇（第三屆）上，她將作題為“鈰基稀土拋光材料的可控制備及拋光性能調控”的報告，內容直擊當前我國拋光材料存在磨料粒度分布寬、分散性差，拋光液懸浮穩定性差等痛點問題，旨在為業界開發兼具應用寬度和高度的高端拋光材料產品提供思路借鑒和方向參考。

報告人簡介

李曉佩，包頭稀土研究院高級工程師、稀土拋光材料研究室主任。中國稀土學會稀土高性能制造專委會委員、中國化學會會員、內蒙古稀土學會會員、九三學社包頭市委參政議政研究員。主持和參與各類科研項目十余項，其中主持內蒙古自然科學基金1項、包頭市項目1項、北方稀土項目2項、包頭稀土研究院項目1項，參與國家自然科學基金面上項目1項、內蒙古科技重大專項2項、北方稀土項目2項。

發表期刊論文十余篇，申請國家發明專利十余項。2024年獲內蒙古自治區“英才興蒙”六層次人才稱號，2023年獲包頭市青年創新人才榮譽，獲得中國稀土學會優秀報告2次，獲得包頭稀土研究院女職工雙文明建功立業先進個人2次，獲得全國高分子學術論文報告會“優秀墻報獎”2次，獲得九三學社包頭市2024年度參政議政先進個人。

東莞拋光論壇會務組