以二氧化鈰為核心的稀土拋光磨料因其硬度適中、反應(yīng)活性高、選擇性高而表現(xiàn)出具有更高的切削速度、拋光精度和表面光潔度，在半導(dǎo)體、光學(xué)元件、液晶顯示屏等高端制造領(lǐng)域不可替代——晶圓CMP是最典型的應(yīng)用。近些年來，全球電子產(chǎn)品（如智能手機、平板電腦、新能源汽車等）爆發(fā)式增長，半導(dǎo)體市場大規(guī)模擴張，這些都帶動了稀土拋光材料需求的激增。

之前研究結(jié)果顯示，包括磨料顆粒的形貌、尺寸，在拋光液中的分散懸浮性能以及二氧化鈰Ce³⁺含量，上述因素皆對拋光去除率和表面粗糙度有著重要影響。因此，設(shè)計和開發(fā)新型高性能稀土拋光磨料，對其粒度、形貌進行嚴格控制，并對其化學(xué)活性實現(xiàn)有效調(diào)控、抑制磨料顆粒間的團聚來提高磨料分散懸浮穩(wěn)定性，是提升拋光效率和降低表面缺陷的重要途徑，也是實現(xiàn)稀土拋光材料高端化的重要方向。

在學(xué)界和業(yè)界有一些前沿和成功的案例，比如可以通過水熱合成、分級沉淀等技術(shù)實現(xiàn)納米級單分散，消除大顆粒影響；比如通過表面修飾、介質(zhì)調(diào)控使懸浮穩(wěn)定性大幅躍升；比如通過氣氛煅燒和摻雜提升Ce³⁺占比；還比如通過合成條件定向設(shè)計顆粒長徑比、球形度等……包頭稀土研究院高級工程師、稀土拋光材料研究室李曉佩主任主要從事鈰基稀土拋光材料的設(shè)計制備、性能優(yōu)化及其產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用研究，定于2025年7月24-25日在東莞喜來登大酒店舉辦2025年全國精密研磨拋光材料及加工技術(shù)發(fā)展論壇（第三屆）上，她將作題為“鈰基稀土拋光材料的可控制備及拋光性能調(diào)控”的報告，內(nèi)容直擊當(dāng)前我國拋光材料存在磨料粒度分布寬、分散性差，拋光液懸浮穩(wěn)定性差等痛點問題，旨在為業(yè)界開發(fā)兼具應(yīng)用寬度和高度的高端拋光材料產(chǎn)品提供思路借鑒和方向參考。

報告人簡介

李曉佩，包頭稀土研究院高級工程師、稀土拋光材料研究室主任。中國稀土學(xué)會稀土高性能制造專委會委員、中國化學(xué)會會員、內(nèi)蒙古稀土學(xué)會會員、九三學(xué)社包頭市委參政議政研究員。主持和參與各類科研項目十余項，其中主持內(nèi)蒙古自然科學(xué)基金1項、包頭市項目1項、北方稀土項目2項、包頭稀土研究院項目1項，參與國家自然科學(xué)基金面上項目1項、內(nèi)蒙古科技重大專項2項、北方稀土項目2項。

發(fā)表期刊論文十余篇，申請國家發(fā)明專利十余項。2024年獲內(nèi)蒙古自治區(qū)“英才興蒙”六層次人才稱號，2023年獲包頭市青年創(chuàng)新人才榮譽，獲得中國稀土學(xué)會優(yōu)秀報告2次，獲得包頭稀土研究院女職工雙文明建功立業(yè)先進個人2次，獲得全國高分子學(xué)術(shù)論文報告會“優(yōu)秀墻報獎”2次，獲得九三學(xué)社包頭市2024年度參政議政先進個人。

東莞拋光論壇會務(wù)組