華海清科于近日發(fā)布公告，為有效搶抓晶圓廠加速擴(kuò)產(chǎn)的窗口期，擴(kuò)大先發(fā)優(yōu)勢和規(guī)模效應(yīng)，進(jìn)一步擴(kuò)大晶圓再生服務(wù)的市場份額，公司擬在江蘇省昆山市建設(shè)晶圓再生擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目，規(guī)劃擴(kuò)建總產(chǎn)能為40萬片/月，其中首期建設(shè)產(chǎn)能為20萬片/月，首期投資預(yù)計(jì)不超過5億元。

圖源：華海清科

據(jù)了解，晶圓再生是一種將晶圓控?fù)跗厥占庸な蛊溥_(dá)到再次使用的標(biāo)準(zhǔn)，從而為晶圓生產(chǎn)企業(yè)節(jié)約成本的服務(wù)，其工藝流程包括對擋控片進(jìn)行去膜、粗拋、精拋、清洗、檢測等步驟。其中精拋是最關(guān)鍵的一道流程，主要通過CMP工藝完成。作為目前國內(nèi)最大的CMP設(shè)備生產(chǎn)商，華海清科憑借自有化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）裝備和清洗裝備，針對下游客戶生產(chǎn)線控片、擋片的晶圓再生需求，積極拓展晶圓再生業(yè)務(wù)，目前已成為具備Fab裝備及工藝技術(shù)服務(wù)的晶圓再生專業(yè)代工廠，現(xiàn)有晶圓再生產(chǎn)能已達(dá)20萬片/月左右，本次擴(kuò)建全部完成后，公司產(chǎn)能將實(shí)現(xiàn)翻倍。

華海清科表示，隨著國內(nèi)12寸晶圓廠加速擴(kuò)產(chǎn)，新建產(chǎn)線的工藝要求越來越高，相應(yīng)對擋控片、測試片的需求激增，此次項(xiàng)目的建設(shè)正是為了進(jìn)一步提高公司的晶圓再生加工能力，以便更好地響應(yīng)客戶的需求。

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