4月15日,寧波江豐電子材料股份有限公司(江豐電子)公告,將對(duì)境外孫公司韓國(guó)江豐(KFAM CO., LTD.)增加投資3.5億元,即對(duì)韓國(guó)江豐的投資總額由不超過3.5億元增加至不超過7億元。這被視為強(qiáng)化與韓國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的深度合作,拓展超高純金屬濺射靶材業(yè)務(wù)的全球份額。不止如此,年初江豐電子與韓國(guó)KSTE INC.簽署框架協(xié)議,計(jì)劃引進(jìn)靜電吸盤生產(chǎn)技術(shù)及產(chǎn)線,橫向拓展半導(dǎo)體精密零部件業(yè)務(wù)。
1月17日,江豐電子與韓國(guó)KSTE INC.簽署靜電吸盤項(xiàng)目合作框架協(xié)議
靜電吸盤是半導(dǎo)體設(shè)備核心零部件,采用高純度陶瓷(如氧化鋁、氮化鋁)作為基材,要求材料具備優(yōu)異的電絕緣性、耐高溫性(承受等離子體刻蝕等嚴(yán)苛環(huán)境)以及與晶圓熱膨脹系數(shù)的高度匹配。其需要通過流延、絲網(wǎng)印刷、疊片、熱壓和共燒等工序,將電極層與陶瓷基體一體化成型,涉及多層陶瓷共燒技術(shù),另外電極層的氣體通道、溫控系統(tǒng)集成等進(jìn)一步增加了工藝復(fù)雜度。可以說從陶瓷粉體、電極漿料等原材料,再到成型燒結(jié)和后期精密加工等,存在嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)、設(shè)備工藝以及后期驗(yàn)證等全鏈條技術(shù)壁壘。
江豐電子通過引進(jìn)KSTE技術(shù),有望打破海外壟斷,提升國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)鏈安全性;KSTE通過技術(shù)授權(quán)進(jìn)入中國(guó)市場(chǎng),可借助江豐的本土資源擴(kuò)大份額,國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體自主化完善過程中,產(chǎn)業(yè)鏈空缺環(huán)節(jié)正在迅速補(bǔ)齊。
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作者:粉體圈
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