日本Fujimi是全球拋光液領(lǐng)域公認(rèn)的領(lǐng)導(dǎo)者，開(kāi)發(fā)出一系列行業(yè)解決方案，尤其用于硅和碳化硅晶圓納米級(jí)拋光的氧化鋁、二氧化硅基拋光液在全球擁有超過(guò)八成市場(chǎng)占有率。本文即整理介紹其在晶圓拋光解決方案中的產(chǎn)品和相關(guān)參數(shù)。

一、流程

晶圓CMP拋光不同工序?qū)?yīng)不同的產(chǎn)品——比如晶錠切片對(duì)應(yīng)GC系列（碳化硅），隨著工序推進(jìn)，工藝的精細(xì)化也不斷提升。

Fujimi的晶圓工序及對(duì)應(yīng)產(chǎn)品示意圖

二、產(chǎn)品

1.GC系列（綠碳化硅）

GC、C系列產(chǎn)品規(guī)格、參數(shù)

GC即green silicon carbide（綠碳化硅），C即black silicon carbide（黑碳化硅）。綠碳化硅的純度和硬度高，黑碳化硅韌性強(qiáng)，二者結(jié)合可以實(shí)現(xiàn)切片環(huán)節(jié)的優(yōu)質(zhì)研磨。

2.FO系列（煅燒氧化鋁）

FO系列產(chǎn)品規(guī)格、參數(shù)

FO是一種氧化鋁研磨劑，是一種經(jīng)過(guò)特殊工藝制備的具有特定粒徑分布和顆粒形貌的粉體。這種研磨劑還廣泛用于光學(xué)玻璃拋光。

3.PWA系列（煅燒氧化鋁）

PWA系列產(chǎn)品規(guī)格、參數(shù)

PWA的縮寫(xiě)是Platelet Calcined Alumina（片狀煅燒氧化鋁）純度超過(guò)99%，也是晶圓拋光工序中用到的最高等級(jí)的氧化鋁磨料。

4.GLANZOX、GLANZOX E-Series系列（膠體二氧化硅）

GLANZOX系列物性參數(shù)

GLANZOX E-Series系列物性參數(shù)

GLANZO系列由二氧化硅膠體分散于特殊組分分散液中而組成。E-Series中的E是Edge（邊緣）的意思，即用于邊緣拋光的細(xì)分產(chǎn)品。為保證高平坦、無(wú)損、無(wú)重金屬污染等需求，該系列膠體及分散液都要求極高純度。

粉體圈

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