1月15日，主要從事碳化硅晶圓拋光研磨智能化裝備設(shè)計(jì)和制造的Revasum Inc公司宣布與金剛石和氮化硼工具制造商Asahi Diamond（朝日鉆石工業(yè)）達(dá)成戰(zhàn)略合作，雙方將聯(lián)合開(kāi)展進(jìn)行碳化硅晶圓研磨拋光技術(shù)的革新。

7AF-HMG研磨機(jī)（Revasum）

晶圓磨削用金剛石砂輪（Asahi Diamond）

本次合作重點(diǎn)是以行業(yè)領(lǐng)先7AF-HMG碳化硅研磨機(jī)為基礎(chǔ)，針對(duì)150mm和200mm碳化硅晶圓帶來(lái)的獨(dú)特挑戰(zhàn)提供解決方案。雙方對(duì)合作有著相似期待，朝日鉆石工業(yè)總裁表示，“Asahi Diamond America很高興與Revasum Inc合作，將碳化硅晶圓研磨提升到新的高度。我們的尖端磨輪與Revasum的先進(jìn)工具相結(jié)合，將使半導(dǎo)體制造商能夠在碳化硅晶圓加工中實(shí)現(xiàn)前所未有的精度和效率。”

小編觀點(diǎn)：

研磨設(shè)備商和磨削工具商協(xié)同開(kāi)發(fā)工藝，必然有利于提升碳化硅晶圓加工的整體效率和產(chǎn)品質(zhì)量，同時(shí)也會(huì)產(chǎn)生不易復(fù)制的將專業(yè)定制化解決方案，甚至涉及到各自獨(dú)特的專利工藝和技術(shù)，提升商業(yè)壁壘。這在各個(gè)行業(yè)的強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合案例中都有跡可查。

編譯整理 YUXI