日前，湖南德智新材料有限公司（德智新材）完成了由國(guó)風(fēng)投（北京）智造轉(zhuǎn)型升級(jí)基金聯(lián)合博華資本（無錫基金）、元禾重元、恒信華業(yè)聯(lián)合領(lǐng)投，中信證券投資、中車資本、山證投資、交銀國(guó)際、國(guó)舜投資等進(jìn)行的C輪數(shù)億元融資，并將投入德智新材株洲、無錫兩地產(chǎn)能擴(kuò)建與研發(fā)。

湖南德智新材料有限公司

據(jù)悉，德智新材成立于2017年，致力于碳化硅納米鏡面涂層及陶瓷基復(fù)合材料研發(fā)，生產(chǎn)和銷售，是目前國(guó)內(nèi)唯一實(shí)現(xiàn)12寸大硅片外延用碳化硅涂層石墨托盤量產(chǎn)出貨、實(shí)體碳化硅刻蝕環(huán)導(dǎo)入的企業(yè)。

碳化硅涂層石墨托盤

碳化硅涂層石墨托盤通常是一種在高溫、腐蝕性氣氛或其他苛刻環(huán)境下使用的高性能工業(yè)托盤。這種托盤的結(jié)構(gòu)一般是由石墨基材通過化學(xué)氣相沉積（CVD）涂覆一層碳化硅（SiC）涂層而成。碳化硅涂層賦予了托盤較高的高溫穩(wěn)定性，可以耐受1200℃以上高溫；還有化學(xué)穩(wěn)定性，使得托盤能夠在腐蝕性氣氛下工作；還能增加硬度和耐磨性；其他還包括抗熱震性以對(duì)抗溫度快速變化等等。在半導(dǎo)體芯片制程中，硅片制造、外延生長(zhǎng)、刻蝕、離子注入及氧化擴(kuò)散等工序中大量使用到石墨與SiC部件。SiC涂層可保護(hù)石墨基座盤基體材料，提高性能，凈化外延生長(zhǎng)環(huán)境，延長(zhǎng)石墨部件的使用壽命。

德智新材擁有自主研發(fā)的生產(chǎn)設(shè)備，具備石墨純化、精密加工、精密檢測(cè)、CVD涂層等完整的生產(chǎn)制造鏈，在SiC涂層石墨工件設(shè)計(jì)、加工及CVD工藝等方面具有核心專利技術(shù)和競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。在CVD工藝上，德智新材自主研發(fā)沉積設(shè)備，并具備從學(xué)術(shù)到量產(chǎn)的多年工藝積累，擁有對(duì)產(chǎn)品應(yīng)用場(chǎng)景的深刻理解及靈活定制的材料設(shè)計(jì)制造能力。目前，德智新材已開發(fā)LED外延設(shè)備用組件、三代半外延設(shè)備用組件、硅基外延設(shè)備用組件、SiC刻蝕環(huán)、SiC晶舟等一系列半導(dǎo)體用SiC部件制品。

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