超精密研磨拋光是軍工、半導(dǎo)體等高端制造制程的關(guān)鍵工藝，直接影響到產(chǎn)品的性能、可靠性與成本。通常不僅僅是平坦化不同的材料，更要平坦化多層材料，使得幾毫米見方的硅片通過這種“全局平坦化”形成上萬至百萬晶體管組成的超大規(guī)模集成電路。拋光工藝也已隨之進入納米級的超精密程度，其應(yīng)用領(lǐng)域包括集成電路制造、醫(yī)療器械、汽車配件、數(shù)碼配件、精密模具以及航空航天等。

對于超精密拋光工藝來說，磨料的選擇至關(guān)重要，而拋光磨具的重要性也不遑多讓。拋光機的關(guān)鍵元器件是“磨盤”，超高精密拋光對拋光機中磨盤的材料組成和技術(shù)規(guī)定幾近嚴(yán)苛，磨盤不但要考慮自動化技術(shù)實際操作的納米精度，更要具有精準(zhǔn)的線膨脹系數(shù)。

拋光磨盤

對于不同的應(yīng)用領(lǐng)域，對超精密拋光的拋光效果和技術(shù)要求不同，例如：

（1）半導(dǎo)體制造：在半導(dǎo)體芯片制造過程中，超精密研磨拋光技術(shù)用于晶圓襯底的加工，需保證晶圓表面的高平整度，從而提高芯片的制造質(zhì)量；

（2）光學(xué)鏡片加工：在光學(xué)儀器、相機、望遠(yuǎn)鏡等光學(xué)設(shè)備的制造中，超精密研磨拋光技術(shù)用于加工鏡片表面，實現(xiàn)高精度的光學(xué)效果；

（3）陶瓷加工：在功能陶瓷、陶瓷刀具等陶瓷制品的加工過程中，超精密研磨拋光技術(shù)用于去除陶瓷表面的缺陷，提高表面光潔度；

（4）金屬加工：在航空航天、汽車制造等領(lǐng)域，超精密研磨拋光技術(shù)用于加工金屬零件表面，實現(xiàn)高精度的加工效果。

超精密研磨拋光磨具的產(chǎn)品類型多樣，其制備工藝同樣值得關(guān)注。在即將于2023年9月18-19日在東莞舉辦的“2023年全國精密研磨拋光材料及加工技術(shù)發(fā)展論壇”，將由來自鄭州磨料磨具磨削研究所有限公司研磨拋光事業(yè)部部長的徐明艷分享報告“超精密研磨拋光磨具的制備及其在新領(lǐng)域中應(yīng)用”。報告將重點介紹超精密研磨拋光磨具的產(chǎn)品類型、技術(shù)需求與難點及其在高端制造領(lǐng)域的應(yīng)用，并對相關(guān)技術(shù)發(fā)展進行了展望。

詳細(xì)報告內(nèi)容：1）超精密研磨拋光磨具；2）超精密研磨拋光磨具制備技術(shù)；3）超精密研磨拋光磨具應(yīng)用（Si、LED、SiC、GaN、Ga2O3、GaAs、InP、金屬、陶瓷等，平面、非平面研磨拋光）；4）超精密研磨拋光技術(shù)展望。

報告人簡介

徐明艷：鄭州磨料磨具磨削研究所有限公司，研磨拋光事業(yè)部部長。本科和碩士均畢業(yè)于太原理工大學(xué)應(yīng)用化學(xué)專業(yè)，主要從事流體磨具產(chǎn)品，如研磨液、拋光液、研磨膏、磨料流等產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與運營，曾在國家磨料磨具質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心從事磨料、磨具的物理化學(xué)分析工作，在磨料選擇、處理、品控與應(yīng)用方面積累有一定的經(jīng)驗。

主持和參與多項省部級科研項目，獲授權(quán)發(fā)明專利10余項。曾獲河南省科學(xué)技術(shù)進步二等獎（2020）、鄭州市重點產(chǎn)業(yè)急需緊缺人才等。

東莞拋光論壇會務(wù)組

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