2018年，美國18歲高中生Sam Zeloof在自家車庫中造出了第一個光刻“自制”（homemade）微芯片。自制的意思是，在他車庫里包括光刻機在內的幾乎所有設備，都是Zeloof網購和親手改良的。而他的所謂光刻機其實就只是把一個投影儀改裝后安裝在顯微鏡上而已。

Sam Zeloof自制的光刻機

以上的故事說明，光刻機的原理和制造并不難，它“卡脖子”的關鍵其實在于精度（誤差）——對光掩模和半導體基板的位置和姿態進行高精度的控制才能實現芯片設計、圖案重復的要求；才能減少誤差和重復，從而滿足制造成本和效率要求。“多層壓電驅動器”作為一種利用壓電材料產生的機械應力來驅動某些系統的裝置，它能實現精確位移控制，是光刻機、套刻量測設備等集成電路裝備的關鍵元器件，對集成電路裝備的精度有著重要的影響。

5月13-14日，CAC2023第二屆廣州先進陶瓷產業鏈展覽會同期，將舉辦圍繞先進陶瓷三個熱門應用方向的創新發展論壇，上海材料研究所曾江濤研究員將分享題為“高性能多層壓電驅動器在集成電路裝備中的應用”的報告，介紹多層壓電驅動器在集成電路中的應用，報告內容主要包括：

1）壓電材料及多層壓電驅動器的工作原理；

2）多層壓電驅動器的國內外發展情況；

3）多層壓電驅動器在集成電路裝備中的應用。

報告人簡介

曾江濤：上海材料研究所研究員/碩士生導師，上海市優秀技術帶頭人。2005年博士畢業于中國科學院上海硅酸鹽研究所。曾在香港理工大學、英國倫敦大學瑪麗女王學院從事訪問研究。2006年8月至今2021年12月在上海硅酸鹽研究所工作。2021年12月至今在上海材料研究所工作，任壓電材料與器件中心副主任。主要從事鐵電壓電材料與器件的研究工作，主持各類科研項目10余項，發表SCI論文120余篇，獲國家發明專利授權20余項。研究成果獲2012年上海市技術發明一等獎及2015年中國科學院科技促進發展獎科技貢獻一等獎。

CAC同期論壇會務組

本文為粉體圈原創作品，未經許可，不得轉載，也不得歪曲、篡改或復制本文內容，否則本公司將依法追究法律責任。