光學增透:選擇溶膠 - 凝膠法,膜厚控制在 λ/4 (約 100-150nm,λ=550nm)
金屬防腐:選擇電化學沉積法或硅烷復合涂層,厚度 500-2000nm
電子拋光:選擇高純度硝酸鈰銨 CAN (≥99.99%),通過溶膠 - 凝膠法制備納米 CeO?顆粒,用于 CMP 工藝.
硝酸鈰銨鍍膜是一種多功能、低成本的薄膜制備技術,核心在于通過精確控制水解 - 縮聚過程,獲得性能優異的氧化鈰功能膜。
高純度 CAN 溶液 (≥99.9%) 作為鉻掩模蝕刻液,具有選擇性高、蝕刻速率可控 (50-200nm/min)、不損傷光刻膠等優勢,廣泛應用于面板和芯片制造
光學性能 高透過率 (>98%)、低反射 (<5%)、可調折射率 (1.9-2.2)
化學穩定性:耐酸、耐堿、抗氧化,工作溫度可達 500℃以上
工藝適應性:適用于多種基材 (玻璃、硅、金屬、陶瓷),可通過調整工藝參數控制膜厚 (10nm-1μm)
環保性:無毒 (鈰為稀土元素,生物相容性好),部分工藝無有害排放
光學領域
減反射膜:在光學鏡片和太陽能電池上形成均勻 CeO?薄膜,使透光率提升至 98% 以上,減少反射損失。
太陽能電池應用:減少表面反射 (從 30% 降至 5% 以下),增加光吸收,提高光電轉換效率 10-15%
高折射率光學材料:用于制備望遠鏡、顯微鏡等高精密光學元件,提高成像分辨率和對比度。