12月27日,國機精工股份有限公司(國機精工)公告,非公開發(fā)行股票募集資金總額不超過約2.84億元,主要用于新型高功率MPCVD法大單晶金剛石項目。

單晶金剛石生長襯底(晶種)
金剛石單晶的核心生產(chǎn)技術就是MPCVD技術。目前國外如美、日、德等國家對MPCVD設備的研發(fā)起步較早,高功率MPCVD設備制備技術已相對成熟,設備性能穩(wěn)定可靠,同時在MPCVD法合成單晶/多晶金剛石的基礎研究方面也有著較為豐富的研究成果,部分產(chǎn)品已實現(xiàn)商業(yè)化;國內(nèi)MPCVD關鍵裝備自主開發(fā)、沉積面積、金剛石尺寸、缺陷密度、熱性能等重要性能指標上與國外存在較大的差距。
因此,持續(xù)對MPCVD設備中關鍵單元開展研究,解決金剛石在功能化應用過程中設備、技術、工藝核心問題,破解國外對于關鍵設備、技術的封鎖,對于保障國家重大工程平穩(wěn)運行、行業(yè)轉型升級具有重大意義。
國機精工于2016年8月立項實施新型高功率MPCVD法大單晶金剛石項目,經(jīng)過一年多的調(diào)研與技術研發(fā),在2018年在正式開始產(chǎn)線的建設工作,經(jīng)過4年的努力,建成年產(chǎn)30萬片MPCVD法大單晶金剛石生產(chǎn)線。通過一期項目的開發(fā),公司實現(xiàn)了MPCVD設備、工藝、產(chǎn)品開發(fā)和生產(chǎn)線的搭建,為二期項目的進行奠定了堅實基礎。
據(jù)公告披露,項目位于河南省洛陽市伊川縣白沙鎮(zhèn)產(chǎn)業(yè)集聚區(qū),擬在一期項目基礎上,持續(xù)開展MPCVD法金剛石關鍵共性技術的研究,提升了現(xiàn)有產(chǎn)品寶石級金剛石品級與工藝穩(wěn)定性,開發(fā)出了2-3寸的金剛石剛石材料,并最終實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)。擬通過對現(xiàn)有生產(chǎn)場地進行改造,新增自制 MPCVD 設備建設寶石級大單晶金剛石生產(chǎn)線和第三代半導體功率器件超高導熱金剛石材料生產(chǎn)線各一條,成為國內(nèi)領先的MPCVD法大單晶金剛石材料科研生產(chǎn)基地。項目設計總產(chǎn)能為65萬片/年,其中高品級MPCVD法超高導熱單晶/多晶金剛石5萬片,寶石級大單晶金剛石60萬片。
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