四川宏圖普新微波科技有限公司擁有18年的“微波能”工業(yè)裝備及系統(tǒng)的研發(fā)、制造經(jīng)驗，長期專注、致力于“微波能”在工業(yè)領(lǐng)域的技術(shù)創(chuàng)新和應用。據(jù)宏圖普新總經(jīng)理周川介紹，微波技術(shù)目前已經(jīng)廣泛應用于許多高新領(lǐng)域，但在二氧化硅行業(yè)仍處于空白，宏圖普新作為全國微波能應用學會專業(yè)委員以及四川微波能-工業(yè)應用產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟-副理事長單位，有責任和義務成為微波技術(shù)應用推廣的先行者。

微波技術(shù)簡介

微波加熱技術(shù)是一種新的加熱方式。由于微波輻射下介質(zhì)的熱效應是內(nèi)部整體加熱的，即理論上所謂的“無溫度梯度加熱”，基本上介質(zhì)內(nèi)部不存在熱傳導現(xiàn)象，因此，微波可相當均勻地加熱介質(zhì)。微波加熱技術(shù)與傳統(tǒng)加熱方法相比，具有穿透力強、熱慣性小、呈現(xiàn)選擇加熱特性、具有反射性和透射性等特點。目前半導體生產(chǎn)工藝中已經(jīng)采用微波等離子體技術(shù)，可進行蝕刻、濺射、氣相沉積、氧化硅片；可用于金屬、合金、非金屬的表面處理技術(shù)；可用于陶瓷的高溫燒結(jié)；可用于等離子體光譜分析，可檢測十幾種元素，另外還用于分解有毒化合物。

微波設(shè)備用于石英提純和球形化

周總介紹，宏圖普新開發(fā)了一種微波等離子云反應器，可在提高石英純度和制備微米級球形硅微粉兩大方向進行實驗室科研或工業(yè)化生產(chǎn)方向的運用嘗試。

提純

目前，氯化焙燒是去除石英晶格雜質(zhì)的主要方法，不同的氯化劑與晶格雜質(zhì)作用方式和效果存在較大差異，大量研究表明延長時間及提高處理溫度能有效提升石英純度。

微波等離子云可以在常壓下提供穩(wěn)定Cl^-等離子熱場，其電子溫度遠高于顯熱，可極大提高焙燒效率，增強反應活性，高效去除Al、Fe、K、Ti等元素；良好的穿透性可以加載提高晶格內(nèi)部難以脫附的元素活性，促進氯化反應，加強提純效果；微波等離子云還可以實現(xiàn)快速、連續(xù)化處理工藝，顯著降低能耗。

球化

微波燒結(jié)技術(shù)通過石英腔體整體旋轉(zhuǎn)，原料隨之公洞并形成團聚后送入等離子區(qū)域進行高溫燒結(jié)處理，體積收縮形成微米級球形硅微粉。其優(yōu)勢在于燒結(jié)時間、溫度可控，產(chǎn)品品質(zhì)穩(wěn)定；無靜電環(huán)境達成團聚大小可控；等離子熱場加熱均勻，燒結(jié)致密；燒結(jié)后快速脫離等離子區(qū)迅速降溫，可連續(xù)化生產(chǎn)提高生產(chǎn)效率。

總結(jié)

全新技術(shù)嫁接到全新領(lǐng)域的應用，尤其實現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn)必然經(jīng)歷嘗試、改進、形成產(chǎn)業(yè)的過程，四川宏圖普新微波科技有限公司將微波技術(shù)引入二氧化硅也是如此，有意嘗試新工藝和開發(fā)新產(chǎn)品，或者有進行技術(shù)交流和討論，您都不應該錯過宏圖普新。

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