7月14日，江蘇天晶智能裝備有限公司宣布，其自主研發(fā)的12英寸藍(lán)寶石襯底與載體晶圓同步實(shí)現(xiàn)規(guī)模化量產(chǎn)，年產(chǎn)能10萬(wàn)片，良率超97%。該突破標(biāo)志著我國(guó)首次在大尺寸藍(lán)寶石材料領(lǐng)域完成"襯底+裝備"全鏈條國(guó)產(chǎn)化，打破國(guó)外壟斷，技術(shù)實(shí)力躍升全球第一梯隊(duì)。

全自主裝備鏈支撐產(chǎn)業(yè)升級(jí)，核心成果指標(biāo)國(guó)際領(lǐng)先

據(jù)悉，此次12英寸藍(lán)寶石襯底的量產(chǎn)依托于天晶智能構(gòu)建的自主裝備鏈，徹底擺脫對(duì)進(jìn)口設(shè)備的依賴(lài)：其自主研發(fā)的TJ320型超高速多線(xiàn)切割機(jī)，配合超高速金剛石線(xiàn)切割技術(shù)，可將切割效率提升300%，良率穩(wěn)定在98%以上，并使外延缺陷降低80%，提升LED發(fā)光效率。同時(shí)，其他關(guān)鍵參數(shù)可達(dá)國(guó)際領(lǐng)先水平：直徑精度300±0.5毫米、表面粗糙度僅為0.2納米、位錯(cuò)密度≤500 cm?2，耐2050℃高溫，滿(mǎn)足GaN外延與Micro-LED高端器件需求；

賦能戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新，掌握第三代半導(dǎo)體戰(zhàn)略主動(dòng)權(quán)

該成果有望推動(dòng)三大領(lǐng)域升級(jí)：用其作為襯底的12英寸GaN功率器件可使新能源汽車(chē)電驅(qū)系統(tǒng)能效提升15%；在A(yíng)R/VR領(lǐng)域，高折射率襯底（n=2.7）能將光波導(dǎo)視場(chǎng)角擴(kuò)大40%，推動(dòng)AR眼鏡光機(jī)體積縮小一半；在量子科技領(lǐng)域，超低缺陷襯底為量子芯片與高能激光窗口提供極端環(huán)境下的光學(xué)穩(wěn)定性。此外，天晶半導(dǎo)體也已啟動(dòng)12英寸圖形化藍(lán)寶石襯底（PSS）研發(fā)，瞄準(zhǔn)千億級(jí)Micro-LED市場(chǎng)，18英寸兼容切割設(shè)備也進(jìn)入工程驗(yàn)證階段，有望使我國(guó)在第三代半導(dǎo)體競(jìng)爭(zhēng)中掌握戰(zhàn)略主動(dòng)權(quán)。

來(lái)源：投影時(shí)代