在精密拋光過程中，拋光液中的大顆粒始終是一個(gè)難以忽視的隱患。即使是微米級別的顆粒，也可能成為影響成品表面質(zhì)量和工藝良率的關(guān)鍵因素。如何精準(zhǔn)識別并計(jì)數(shù)這些大顆粒的多少，已成為半導(dǎo)體行業(yè)繞不開的重要課題。

近日，中國粉體工業(yè)萬里行走訪了上海梓夢科技有限公司（下稱：梓夢科技）——一家起步于醫(yī)藥領(lǐng)域的高新技術(shù)企業(yè)，近年來憑借一整套“醫(yī)藥級”檢測儀器，成功跨界進(jìn)入半導(dǎo)體等先進(jìn)制造行業(yè)，尤其在檢測CMP拋光液中的大顆粒方面積累了豐富經(jīng)驗(yàn)。那么，梓夢科技是如何將這些“醫(yī)藥級”技術(shù)成功遷移到新材料檢測領(lǐng)域的？讓我們來一探究竟。

萬里行團(tuán)隊(duì)與梓夢科技團(tuán)隊(duì)合影

從醫(yī)藥制劑到CMP拋光液：精準(zhǔn)檢測的技術(shù)遷移

成立于上海的梓夢科技，擁有大顆粒計(jì)數(shù)分析儀、粒形分析儀、激光粒度分析儀、納米粒度及zeta電位分析儀等一系列先進(jìn)檢測產(chǎn)品，最初主要服務(wù)于制藥企業(yè)對注射液、外用制劑等的精細(xì)檢測需求。

梓夢科技張經(jīng)理介紹道，在醫(yī)藥領(lǐng)域，許多藥用制劑對大顆粒的存在極為敏感，例如注射液對不溶性雜質(zhì)顆粒的要求非常嚴(yán)格。這一理念與CMP拋光液中盡量減少大顆粒的要求不謀而合——因?yàn)?/span>大顆粒磨料會對晶圓表面造成劃痕，進(jìn)而降低良率。

注射液與晶圓

“基于此，我們意識到醫(yī)藥領(lǐng)域成熟的檢測技術(shù)同樣適用于拋光液的質(zhì)量控制。幾年前，梓夢便開始嘗試將這套技術(shù)引入拋光液檢測，并取得了顯著成效。目前這項(xiàng)技術(shù)在國內(nèi)處于領(lǐng)先地位，屬于我們的獨(dú)家優(yōu)勢。”張經(jīng)理說道。

兩大核心產(chǎn)品，精準(zhǔn)“揪出”大顆粒

為了精準(zhǔn)檢測CMP拋光液中的大顆粒，梓夢科技推出了兩款基于不同檢測原理的核心產(chǎn)品——“CMP大顆粒計(jì)數(shù)分析儀 ZM-02”與“CMP粒形分析儀 M3000”。尤其是ZM-02，能夠精確計(jì)數(shù)溶液中的大顆粒數(shù)量，為企業(yè)提供更具針對性的生產(chǎn)質(zhì)量控制指導(dǎo)。

1、CMP大顆粒計(jì)數(shù)分析儀 ZM-02

粒徑分布和顆粒濃度

大顆粒計(jì)數(shù)分析儀是采用光阻法原理設(shè)計(jì)生產(chǎn)的顆粒計(jì)數(shù)器，其主要功能是用來測試CMP Slurry藥液中顆粒數(shù)量等，如二氧化硅、氧化鈰、氧化鋁等。ZM-02型號產(chǎn)品完全可以按照要求查看任意通道顆粒的數(shù)量，如1μm、2μm、5μm等。

l 檢測范圍：0.5μm–400μm

l 通道數(shù)高達(dá)1024，可精確監(jiān)控1μm、2μm、5μm等關(guān)鍵尺寸

l 支持在線或離線檢測，并具備全自動進(jìn)樣、自動稀釋、自動檢測、自動清洗功能

l 數(shù)據(jù)濃度可達(dá) 1×10⁹個(gè)/ml

這意味著，用戶不僅無須無需人工稀釋，還能快速識別出極小比例但高風(fēng)險(xiǎn)的大顆粒，從而提升工藝穩(wěn)定性。

2、CMP粒形分析儀/M3000

粒形分析儀是采用動態(tài)圖像法原理設(shè)計(jì)生產(chǎn)的顆粒計(jì)數(shù)器，其主要的功能是用來測試CMP Slumy藥液中顆粒數(shù)量、顆粒形狀、不同形狀顆粒的數(shù)量濃度等。針對不同形狀的顆粒對拋光效果的影響，M3000尤其適用于CMP拋光液生產(chǎn)企業(yè)對“球形度”、“鈍度”等參數(shù)的管控。

l 檢測范圍：0.5μm–1000μm

l 可識別多種形狀顆粒，并分別給出濃度數(shù)據(jù)

l 離線或在線均可，全自動稀釋

測試報(bào)告：

圖1、球形度數(shù)據(jù)

圖2、頓度數(shù)據(jù)

目前，梓夢科技已與多家相關(guān)企業(yè)建立合作關(guān)系，并計(jì)劃根據(jù)下游客戶的實(shí)際需求，持續(xù)優(yōu)化檢測儀器功能。以拋光行業(yè)為例，過去拋光液的濃度相對較高，而如今濃度逐漸降低，這對顆粒計(jì)數(shù)器的靈敏度和檢測能力提出了更高要求。為此，梓夢科技致力于研發(fā)具備雙重功能的儀器，既能精準(zhǔn)檢測低濃度樣品，也能有效應(yīng)對高濃度樣品的測量需求，從而滿足不同工況下的檢測需求。

結(jié)語

作為檢測儀器企業(yè)跨界進(jìn)入新材料領(lǐng)域的典范，梓夢科技不僅把設(shè)備賣給新客戶，更重要的是還把新的檢測理念和服務(wù)體系帶進(jìn)新行業(yè)，為粉體領(lǐng)域中顆粒尾部的“少量殺傷”難題提供了切實(shí)有效的解決方案。這樣的跨界合作，充分展示了檢測技術(shù)更廣闊的應(yīng)用可能。

接下來，中國粉體工業(yè)萬里行將繼續(xù)出發(fā)，更多精彩，敬請期待！

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