山東硅元新型材料股份有限公司（硅元新材），承襲1958年山東省硅酸鹽研究設計院的深厚底蘊，歷經(jīng)67年創(chuàng)新求索，現(xiàn)已成為先進陶瓷產(chǎn)業(yè)的標桿企業(yè)。依托自主研發(fā)的高石英質(zhì)瓷器制備技術(shù)與完全自主知識產(chǎn)權(quán)的陶瓷脫水元件核心技術(shù)，企業(yè)在高端日用陶瓷、藝術(shù)瓷及工業(yè)陶瓷領(lǐng)域持續(xù)領(lǐng)跑，特別是在突破高速造紙機用耐磨陶瓷脫水元件"卡脖子"技術(shù)方面樹立行業(yè)典范。

而近年來，在全球半導體產(chǎn)業(yè)向三維集成、超精密制造邁進的新形勢下，硅元新材不滿足于待在“舒適圈”，精準捕捉產(chǎn)業(yè)升級關(guān)鍵機遇,依托自主建設的國家工業(yè)陶瓷工程技術(shù)中心，企業(yè)將多年積累的精密陶瓷成型技術(shù)、納米級加工工藝及高溫燒結(jié)技術(shù)延伸至半導體領(lǐng)域，并希望通過“中國粉體工業(yè)萬里行”窗口向業(yè)界釋放一個重要訊息——“我們目前的主要任務是推動半導體關(guān)鍵陶瓷部件國產(chǎn)化進程，而且也已經(jīng)取得了一定突破，實現(xiàn)了部分產(chǎn)品替代進口”，如果對半導體陶瓷相關(guān)領(lǐng)域有需求的客戶，歡迎來硅元新材考察交流，一定會有結(jié)果、有收獲。

萬里行團隊到訪硅元新材

光電/半導體行業(yè)用高精密氧化鋁陶瓷部件（部分）

半導體晶圓的化學機械拋光（CMP）研磨盤需要耐磨、低污染；離子注入和薄膜沉積需要耐高溫、化學惰性、低膨脹系數(shù)；高溫CVD需要高頻電場下維持工藝溫度梯度……高純氧化鋁陶瓷在半導體制程中能夠起到防擊穿、耐高溫、耐腐蝕、低釋氣（低揮發(fā)）、抗熱震、耐磨的重要作用，保障諸多工藝流程的精確性與穩(wěn)定性。

高純氧化鋁陶瓷研磨盤/載盤（左） 高純氧化鋁陶瓷絕緣環(huán)（右）

大尺寸高精密高純氧化鋁陶瓷絕緣框

耐等離子配件（左）陶瓷板槽（右）

大尺寸陶瓷導軌

不過，針對半導體應用的氧化鋁陶瓷基本以998（99.8%純度）為主，且對于成型、燒結(jié)、加工等后期制造工藝的要求也很高。硅元新材依靠良好的科研條件和高度專業(yè)的研發(fā)隊伍，并經(jīng)過67年的技術(shù)積累，可根據(jù)客戶提供的具體應用條件，自主研發(fā)原輔料粉體配方，同時選取合適的工藝技術(shù)及先進的生產(chǎn)設備，立志為客戶提供高精度、高性能、高可靠性的定制化氧化鋁陶瓷解決方案，實現(xiàn)同類進口產(chǎn)品的國產(chǎn)化替代，滿足國內(nèi)半導體行業(yè)設備對高精密陶瓷部件日益嚴苛的需求。

其他行業(yè)/材料解決方案（示例）

除半導體用氧化鋁陶瓷之外，硅元新材也將產(chǎn)品延伸到氧化鋯陶瓷、鎂鋯陶瓷、氮化硅陶瓷等其他材料體系，可為包括機械、電子、醫(yī)藥、化工、耐火、冶煉、汽車等眾多應用領(lǐng)域提供高技術(shù)陶瓷解決方案。如下是部分產(chǎn)品展示：

氧化鋁耐磨件

氧化鎂穩(wěn)定氧化鋯陶瓷

氮化硅陶瓷

小結(jié)

作為國內(nèi)高端陶瓷領(lǐng)軍企業(yè)，山東硅元曾用高石英瓷革新了高端日用瓷市場，用自研高耐磨陶瓷脫水元件引領(lǐng)我國造紙裝備國際化發(fā)展，如今為始終緊貼著中國產(chǎn)業(yè)升級的脈搏，山東硅元又將目光投向更硬核的賽道——半導體裝備關(guān)鍵陶瓷部件，開啟了半導體陶瓷國產(chǎn)化征程。未來，相信經(jīng)過硅元人一輩輩的技術(shù)積累，硅元新材還必將持續(xù)輸出更加精彩的企業(yè)發(fā)展故事，書寫一個個全新領(lǐng)域的應用開拓篇章。

中國粉體工業(yè)萬里行