山東硅元新型材料股份有限公司（硅元新材），承襲1958年山東省硅酸鹽研究設計院的深厚底蘊，歷經67年創新求索，現已成為先進陶瓷產業的標桿企業。依托自主研發的高石英質瓷器制備技術與完全自主知識產權的陶瓷脫水元件核心技術，企業在高端日用陶瓷、藝術瓷及工業陶瓷領域持續領跑，特別是在突破高速造紙機用耐磨陶瓷脫水元件"卡脖子"技術方面樹立行業典范。

而近年來，在全球半導體產業向三維集成、超精密制造邁進的新形勢下，硅元新材不滿足于待在“舒適圈”，精準捕捉產業升級關鍵機遇,依托自主建設的國家工業陶瓷工程技術中心，企業將多年積累的精密陶瓷成型技術、納米級加工工藝及高溫燒結技術延伸至半導體領域，并希望通過“中國粉體工業萬里行”窗口向業界釋放一個重要訊息——“我們目前的主要任務是推動半導體關鍵陶瓷部件國產化進程，而且也已經取得了一定突破，實現了部分產品替代進口”，如果對半導體陶瓷相關領域有需求的客戶，歡迎來硅元新材考察交流，一定會有結果、有收獲。

萬里行團隊到訪硅元新材

光電/半導體行業用高精密氧化鋁陶瓷部件（部分）

半導體晶圓的化學機械拋光（CMP）研磨盤需要耐磨、低污染；離子注入和薄膜沉積需要耐高溫、化學惰性、低膨脹系數；高溫CVD需要高頻電場下維持工藝溫度梯度……高純氧化鋁陶瓷在半導體制程中能夠起到防擊穿、耐高溫、耐腐蝕、低釋氣（低揮發）、抗熱震、耐磨的重要作用，保障諸多工藝流程的精確性與穩定性。

高純氧化鋁陶瓷研磨盤/載盤（左） 高純氧化鋁陶瓷絕緣環（右）

大尺寸高精密高純氧化鋁陶瓷絕緣框

耐等離子配件（左）陶瓷板槽（右）

大尺寸陶瓷導軌

不過，針對半導體應用的氧化鋁陶瓷基本以998（99.8%純度）為主，且對于成型、燒結、加工等后期制造工藝的要求也很高。硅元新材依靠良好的科研條件和高度專業的研發隊伍，并經過67年的技術積累，可根據客戶提供的具體應用條件，自主研發原輔料粉體配方，同時選取合適的工藝技術及先進的生產設備，立志為客戶提供高精度、高性能、高可靠性的定制化氧化鋁陶瓷解決方案，實現同類進口產品的國產化替代，滿足國內半導體行業設備對高精密陶瓷部件日益嚴苛的需求。

其他行業/材料解決方案（示例）

除半導體用氧化鋁陶瓷之外，硅元新材也將產品延伸到氧化鋯陶瓷、鎂鋯陶瓷、氮化硅陶瓷等其他材料體系，可為包括機械、電子、醫藥、化工、耐火、冶煉、汽車等眾多應用領域提供高技術陶瓷解決方案。如下是部分產品展示：

氧化鋁耐磨件

氧化鎂穩定氧化鋯陶瓷

氮化硅陶瓷

小結

作為國內高端陶瓷領軍企業，山東硅元曾用高石英瓷革新了高端日用瓷市場，用自研高耐磨陶瓷脫水元件引領我國造紙裝備國際化發展，如今為始終緊貼著中國產業升級的脈搏，山東硅元又將目光投向更硬核的賽道——半導體裝備關鍵陶瓷部件，開啟了半導體陶瓷國產化征程。未來，相信經過硅元人一輩輩的技術積累，硅元新材還必將持續輸出更加精彩的企業發展故事，書寫一個個全新領域的應用開拓篇章。

中國粉體工業萬里行