據(jù)南方日?qǐng)?bào)消息，2月10日，珠海至微半導(dǎo)體零部件清洗項(xiàng)目動(dòng)工儀式在珠海高新區(qū)智能制造加速基地舉行。據(jù)了解，該項(xiàng)目聚焦半導(dǎo)體晶圓廠關(guān)鍵制程設(shè)備的零部件精密清洗和翻修服務(wù)，廠房總面積為4200平方米，配置10級(jí)無(wú)塵車間，規(guī)劃建設(shè)4條獨(dú)立制程清洗產(chǎn)線和表面處理產(chǎn)線，預(yù)計(jì)年清洗產(chǎn)能為36萬(wàn)件，項(xiàng)目建成后可為珠三角半導(dǎo)體晶圓廠提供“2小時(shí)配套圈”服務(wù)。

活動(dòng)現(xiàn)場(chǎng)（來(lái)源：南方日?qǐng)?bào)）

在半導(dǎo)體的生產(chǎn)過(guò)程中，半導(dǎo)體設(shè)備部分零部件表面可能會(huì)沉積覆著物或被刻蝕副產(chǎn)物污染，而這些覆著物或雜質(zhì)會(huì)影響最終產(chǎn)品的性能和良率，因此為確保生產(chǎn)的功效，需要定期對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)行洗凈，以達(dá)到提高設(shè)備稼動(dòng)率，延長(zhǎng)制程設(shè)備的使用壽命的目的。半導(dǎo)體零部件清洗不僅是新設(shè)備零部件組裝前必不可少的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，還是使用中的設(shè)備日常保養(yǎng)和維護(hù)的重要措施和必要環(huán)節(jié)，其主要包括基礎(chǔ)洗凈、陶瓷熔射、陽(yáng)極氧化以及維修翻新業(yè)務(wù)等。

此次珠海至微半導(dǎo)體零部件清洗項(xiàng)目動(dòng)工，不僅推動(dòng)了我國(guó)半導(dǎo)體零部件清洗服務(wù)的升級(jí)與發(fā)展，還助力珠海集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的進(jìn)一步完善，為廣東打造中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)“第三極”提供支撐。

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